Semicera-ийн SOI Wafer (Silicon On Insulator) нь дээд зэргийн цахилгаан тусгаарлалт, дулааны гүйцэтгэлийг хангах зорилготой юм. Тусгаарлагч давхарга дээрх цахиурын давхарга бүхий энэхүү шинэлэг вафель бүтэц нь төхөөрөмжийн гүйцэтгэлийг сайжруулж, эрчим хүчний зарцуулалтыг бууруулж, өндөр технологийн төрөл бүрийн хэрэглээнд тохиромжтой болгодог.
Манай SOI хавтан нь шимэгчийн багтаамжийг багасгаж, төхөөрөмжийн хурд, үр ашгийг дээшлүүлэх замаар нэгдсэн хэлхээнд онцгой ашиг тусыг санал болгодог. Энэ нь орчин үеийн электроникийн хувьд маш чухал бөгөөд өндөр гүйцэтгэл, эрчим хүчний хэмнэлт нь хэрэглээний болон үйлдвэрлэлийн аль алинд нь зайлшгүй шаардлагатай байдаг.
Semicera нь тогтвортой чанар, найдвартай SOI вафель үйлдвэрлэх дэвшилтэт үйлдвэрлэлийн техникийг ашигладаг. Эдгээр ялтсууд нь маш сайн дулаан тусгаарлалтыг хангадаг тул өндөр нягтралтай электрон төхөөрөмж, эрчим хүчний удирдлагын систем гэх мэт дулаан ялгаруулах асуудалтай орчинд ашиглахад тохиромжтой.
Хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэлд SOI хавтан ашиглах нь илүү жижиг, хурдан, найдвартай чипүүдийг боловсруулах боломжийг олгодог. Semicera-ийн нарийн инженерчлэлийн амлалт нь манай SOI хавтан нь харилцаа холбоо, автомашин, хэрэглээний электроник зэрэг салбарт хамгийн сүүлийн үеийн технологид шаардагдах өндөр стандартыг хангаж өгдөг.
Semicera-ийн SOI Wafer-ийг сонгох нь электрон болон микроэлектроник технологийн дэвшлийг дэмжих бүтээгдэхүүнд хөрөнгө оруулах гэсэн үг юм. Манай өргүүр нь сайжруулсан гүйцэтгэл, бат бөх чанарыг хангах зорилготойгоор бүтээгдсэн бөгөөд таны өндөр технологийн төслүүдийг амжилттай хэрэгжүүлэхэд хувь нэмэр оруулж, инновацийн тэргүүн эгнээнд үлдэх болно.
| Эд зүйлс | Үйлдвэрлэл | Судалгаа | Дамми |
| Кристал параметрүүд | |||
| Политип | 4H | ||
| Гадаргуугийн чиглэлийн алдаа | <11-20 >4±0.15° | ||
| Цахилгааны параметрүүд | |||
| Допант | n төрлийн азот | ||
| Эсэргүүцэл | 0.015-0.025 ом·см | ||
| Механик параметрүүд | |||
| Диаметр | 150.0±0.2мм | ||
| Зузаан | 350±25 мкм | ||
| Үндсэн хавтгай чиг баримжаа | [1-100]±5° | ||
| Үндсэн хавтгай урт | 47.5±1.5мм | ||
| Хоёрдогч байр | Байхгүй | ||
| TTV | ≤5 мкм | ≤10 мкм | ≤15 мкм |
| LTV | ≤3 мкм(5мм*5мм) | ≤5 мкм(5мм*5мм) | ≤10 мкм(5мм*5мм) |
| Нум | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| Муухай | ≤35 мкм | ≤45 мкм | ≤55 мкм |
| Урд талын барзгар байдал (AFM) | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| Бүтэц | |||
| Микро хоолойн нягтрал | <1 э/см2 | <10 эа/см2 | <15 эа/см2 |
| Металлын хольц | ≤5E10атом/см2 | NA | |
| BPD | ≤1500 ea/см2 | ≤3000 ea/см2 | NA |
| TSD | ≤500 ea/cm2 | ≤1000 ea/cm2 | NA |
| Урд чанар | |||
| Урд | Si | ||
| Гадаргуугийн өнгөлгөө | Si-face CMP | ||
| Бөөмүүд | ≤60ea/waf (хэмжээ≥0.3μm) | NA | |
| Зураас | ≤5ea/мм. Хуримтлагдсан урт ≤Диаметр | Хуримтлагдсан урт≤2*Диаметр | NA |
| Жүржийн хальс/цорхой/толбо/суралт/ хагарал/бохирдол | Байхгүй | NA | |
| Ирмэгийн чипс / догол / хугарал / зургаан өнцөгт хавтан | Байхгүй | ||
| Политип талбайнууд | Байхгүй | Хуримтлагдсан талбай≤20% | Хуримтлагдсан талбай≤30% |
| Урд талын лазер тэмдэглэгээ | Байхгүй | ||
| Буцах чанар | |||
| Арын төгсгөл | C-нүүртэй CMP | ||
| Зураас | ≤5ea/мм,Хуримт урт≤2*Диаметр | NA | |
| Арын гажиг (захын чипс/догол) | Байхгүй | ||
| Нурууны барзгар байдал | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| Буцах лазер тэмдэглэгээ | 1 мм (дээд ирмэгээс) | ||
| Ирмэг | |||
| Ирмэг | Хагархай | ||
| Сав баглаа боодол | |||
| Сав баглаа боодол | Вакуум савлагаатай эпи-бэлэн Олон талт цаасны сав баглаа боодол | ||
| *Тэмдэглэл: "NA" гэдэг нь хүсэлт байхгүй гэсэн үг Дудаагүй зүйл нь ХАГАС БЗДХ-тай холбоотой байж болно. | |||
