Хатуу CVD SiC цагирагӨндөр температур, идэмхий, зүлгүүрийн орчинд үйлдвэрлэл, шинжлэх ухааны салбарт өргөн хэрэглэгддэг. Энэ нь хэд хэдэн хэрэглээний салбарт чухал үүрэг гүйцэтгэдэг, үүнд:
1. Хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэл:Хатуу CVD SiC цагирагХагас дамжуулагч төхөөрөмжийг халаах, хөргөхөд ашиглаж болох бөгөөд энэ нь процессын нарийвчлал, тууштай байдлыг хангахын тулд температурын тогтвортой хяналтыг хангана.
2. Оптоэлектроник: Маш сайн дулаан дамжуулалт, өндөр температурт тэсвэртэй тулХатуу CVD SiC цагираглазер, шилэн кабелийн холбооны тоног төхөөрөмж, оптик эд ангиудыг дэмжих, дулаан ялгаруулах материал болгон ашиглаж болно.
3. Нарийвчилсан машин механизм: Хатуу CVD SiC цагираг нь өндөр температурт зуух, вакуум төхөөрөмж, химийн реактор зэрэг өндөр температур, идэмхий орчинд нарийн багаж, тоног төхөөрөмжид ашиглагдаж болно.
4. Химийн үйлдвэр: Хатуу CVD SiC цагираг нь зэврэлтэнд тэсвэртэй, химийн тогтвортой байдлын улмаас химийн урвал, катализаторын процесст сав, хоолой, реакторт ашиглаж болно.
✓Хятадын зах зээлд дээд зэргийн чанартай
✓Та бүхэнд 7*24 цагийн турш чанартай үйлчилгээ
✓ Хүргэлтийн богино хугацаа
✓Жижиг MOQ тавтай морилно уу
✓Захиалгат үйлчилгээ
Эпитаксийн өсөлтийн мэдрэгч
Цахиур / цахиурын карбид хавтанцар нь электрон төхөөрөмжид ашиглахын тулд олон процессыг давах шаардлагатай. Чухал үйл явц бол цахиур/силикон хавтанцарыг бал чулуун суурь дээр зөөдөг цахиур/sic эпитакси юм. Semicera-ийн цахиурын карбидаар бүрсэн бал чулууны суурийн онцгой давуу тал нь маш өндөр цэвэршилт, жигд бүрэх, маш урт хугацааны үйлчилгээ юм. Тэд мөн химийн өндөр эсэргүүцэлтэй, дулааны тогтвортой байдалтай байдаг.
LED чип үйлдвэрлэл
MOCVD реакторын өргөн цар хүрээтэй бүрхүүлийн үед гаригийн суурь буюу зөөгч нь субстратын өрөмийг хөдөлгөдөг. Үндсэн материалын гүйцэтгэл нь бүрэх чанарт ихээхэн нөлөөлдөг бөгөөд энэ нь чипний хаягдал хурдад нөлөөлдөг. Semicera-ийн цахиурын карбидаар бүрсэн суурь нь өндөр чанартай LED өргүүрийн үйлдвэрлэлийн үр ашгийг нэмэгдүүлж, долгионы уртын хазайлтыг багасгадаг. Мөн бид одоо ашиглагдаж байгаа MOCVD реакторуудад нэмэлт графит эд анги нийлүүлдэг. Бид бараг бүх эд ангиудыг цахиурын карбидын бүрээсээр бүрэх боломжтой, бүр хэсэг нь 1.5М хүртэл диаметртэй байсан ч бид цахиурын карбидаар бүрэх боломжтой.
Хагас дамжуулагч талбар, исэлдэлтийн тархалтын процесс, гэх мэт.
Хагас дамжуулагчийн процесст исэлдэлтийн тэлэлтийн процесс нь бүтээгдэхүүний өндөр цэвэршилтийг шаарддаг бөгөөд Semicera-д бид цахиурын карбидын ихэнх хэсгүүдэд захиалгат болон CVD бүрэх үйлчилгээг санал болгодог.
Дараах зураг нь Semicea-ийн барзгар боловсруулсан цахиурын карбидын зутан болон 100-д цэвэрлэсэн цахиурын карбидын зуухны хоолойг харуулж байна.0- түвшинтоосгүйөрөө. Манай ажилчид бүрэхийн өмнө ажиллаж байна. Манай цахиурын карбидын цэвэр байдал 99.99% хүрч, sic бүрхүүлийн цэвэр байдал 99.99995% -иас их байна..
Цэвэрлэх дэх түүхий цахиурын карбидын сэлүүрт болон SiC процессын хоолой
Цахиурын карбидын вафер завь CVD SiC бүрсэн
