TaC бүрсэн эпитаксиаль хавтан зөөгчихэвчлэн өндөр хүчин чадалтай оптоэлектроник төхөөрөмж, эрчим хүчний төхөөрөмж, мэдрэгч болон бусад салбарт бэлтгэхэд ашиглагддаг. Энээпитаксиаль хавтан зөөгч-ийн хуримтлалыг хэлнэTaCболор ургах явцад субстрат дээр нимгэн хальс үүсгэн, дараа нь төхөөрөмжийг бэлтгэхэд зориулагдсан тодорхой бүтэц, гүйцэтгэлтэй вафель үүсгэх.
Химийн уурын хуримтлал (CVD) технологийг ихэвчлэн бэлтгэхэд ашигладагTaC бүрсэн эпитаксиаль хавтан зөөгч. Металл органик прекурсорууд болон нүүрстөрөгчийн эх үүсвэрийн хийг өндөр температурт урвалд оруулснаар болор субстратын гадаргуу дээр TaC хальсыг байрлуулж болно. Энэхүү хальс нь маш сайн цахилгаан, оптик, механик шинж чанартай байж болох бөгөөд янз бүрийн өндөр хүчин чадалтай төхөөрөмжүүдийг бэлтгэхэд тохиромжтой.
Semicera нь төрөл бүрийн эд анги, тээвэрлэгчдэд зориулсан тусгай тантал карбидын (TaC) бүрээсээр хангадаг.Semicera тэргүүлэгч бүрэх процесс нь тантал карбидын (TaC) бүрээсийг өндөр цэвэршилт, өндөр температурт тогтвортой байдал, химийн өндөр тэсвэрлэх чадварыг бий болгож, SIC/GAN талстууд болон EPI давхаргын бүтээгдэхүүний чанарыг сайжруулдаг.Графитаар бүрсэн TaC мэдрэгч), реакторын гол бүрэлдэхүүн хэсгүүдийн ашиглалтын хугацааг уртасгах. Тантал карбидын TaC бүрээсийг ашиглах нь ирмэгийн асуудлыг шийдэж, болор өсөлтийн чанарыг сайжруулахад чиглэгддэг бөгөөд Semicera нь тантал карбидын бүрэх технологийг (CVD) шийдэж, олон улсын дэвшилтэт түвшинд хүрсэн.
Олон жилийн хөгжлийн дараа Semicera технологийг байлдан дагуулавCVD TaCR&D хэлтсийн хамтарсан хүчин чармайлтаар. SiC өрмөнцөрийн өсөлтийн явцад гэмтэл гарахад хялбар байдаг, гэхдээ хэрэглэсний дарааTaC, ялгаа нь мэдэгдэхүйц юм. Доорх нь нэг талст өсөлтийн хувьд TaC-тай болон огтлолцоогүй вафель, мөн Simicera-ийн хэсгүүдийн харьцуулалтыг үзүүлэв.
TaC-тай ба үгүй
TaC хэрэглэсний дараа (баруун)
Үүнээс гадна, Semicera-ийнTaC бүрсэн бүтээгдэхүүн-тай харьцуулахад илүү урт ашиглалтын хугацаа, өндөр температурт тэсвэртэй байдлыг харуулдагSiC бүрээс.Лабораторийн хэмжилтээр манайTaC бүрээсЦельсийн 2300 хэм хүртэлх температурт удаан хугацаанд тогтвортой ажиллах боломжтой. Манай дээжийн зарим жишээг доор харуулав.
