TaC бүрсэн бал чулуу чиглүүлэгч цагираг-ийн нимгэн давхаргын тунадасыг хэлнэтантал карбидэлэгдэлд тэсвэртэй, өндөр температурт тэсвэртэй, химийн тогтвортой байдлыг сайжруулахын тулд графит чиглүүлэгч цагирагны гадаргуу дээр. Энэхүү бүрхүүл нь ихэвчлэн физик уурын хуримтлал (PVD) эсвэл химийн уурын хуримтлал (CVD) гэх мэт техникээр бал чулуун чиглүүлэгч цагирагны гадаргуу дээр үүсдэг.
Semicera нь төрөл бүрийн эд анги, тээвэрлэгчдэд зориулсан тусгай тантал карбидын (TaC) бүрээсээр хангадаг.Semicera тэргүүлэгч бүрэх процесс нь тантал карбидын (TaC) бүрээсийг өндөр цэвэршилт, өндөр температурт тогтвортой байдал, химийн өндөр тэсвэрлэх чадварыг бий болгож, SIC/GAN талстууд болон EPI давхаргын бүтээгдэхүүний чанарыг сайжруулдаг.Графитаар бүрсэн TaC мэдрэгч), реакторын гол бүрэлдэхүүн хэсгүүдийн ашиглалтын хугацааг уртасгах. Тантал карбидын TaC бүрээсийг ашиглах нь ирмэгийн асуудлыг шийдэж, болор өсөлтийн чанарыг сайжруулахад чиглэгддэг бөгөөд Semicera нь тантал карбидын бүрэх технологийг (CVD) шийдэж, олон улсын дэвшилтэт түвшинд хүрсэн.
Олон жилийн хөгжлийн дараа Semicera технологийг байлдан дагуулавCVD TaCR&D хэлтсийн хамтарсан хүчин чармайлтаар. SiC өрмөнцөрийн өсөлтийн явцад гэмтэл гарахад хялбар байдаг боловч хэрэглэсний дарааTaC, ялгаа нь мэдэгдэхүйц юм. Доорх нь нэг талст өсөлтийн хувьд TaC-тай болон огтлолцоогүй вафель, мөн Simicera-ийн хэсгүүдийн харьцуулалтыг үзүүлэв.
TaC бүрсэн графит чиглүүлэгч цагиргуудын үндсэн шинж чанарууд нь:
1. Өндөр температурт тэсвэртэй: TaC бүрэх нь маш сайн өндөр температурын тогтвортой байдлыг хангаж, өндөр температурт тогтвортой байдлыг хадгалж чаддаг.
2. Элэгдлийн эсэргүүцэл: Тантал карбидын нимгэн давхаргын өндөр хатуулаг нь чиглүүлэгч цагирагт сайн элэгдэлд тэсвэртэй бөгөөд ашиглалтын хугацааг уртасгадаг.
3. Химийн тогтвортой байдал: TaC бүрэх нь химийн зэврэлтэнд тэсвэртэй тул зарим идэмхий орчинд хэрэглэхэд тохиромжтой.
4. Үрэлтийг багасгах: TaC бүрэх нь бал чулууны чиглүүлэгч цагираг болон бусад эд ангиудын хоорондох үрэлтийг үр дүнтэй бууруулж, механик лацны үр ашгийг сайжруулдаг.
TaC-тай ба үгүй
TaC хэрэглэсний дараа (баруун)
Үүнээс гадна, Semicera-ийнTaC бүрсэн бүтээгдэхүүн-тай харьцуулахад илүү урт ашиглалтын хугацаа, өндөр температурт тэсвэртэй байдлыг харуулдагSiC бүрээс.Лабораторийн хэмжилтээр манайTaC бүрээсЦельсийн 2300 хэм хүртэлх температурт удаан хугацаанд тогтвортой ажиллах боломжтой. Манай дээжийн зарим жишээг доор харуулав.
