CVD TaC бүрэх

CVD TaC бүрхүүлийн танилцуулга:

CVD TaC бүрэх нь субстратын гадаргуу дээр тантал карбидын (TaC) бүрээсийг хуримтлуулахын тулд химийн уурын хуримтлалыг ашигладаг технологи юм. Тантал карбид нь механик болон химийн маш сайн шинж чанартай, өндөр үзүүлэлттэй керамик материал юм. CVD процесс нь хийн урвалаар субстратын гадаргуу дээр жигд TaC хальс үүсгэдэг.

Үндсэн шинж чанарууд:

Маш сайн хатуулаг, элэгдэлд тэсвэртэй: Тантал карбид нь маш өндөр хатуулагтай бөгөөд CVD TaC бүрэх нь субстратын элэгдэлд тэсвэртэй байдлыг эрс сайжруулдаг. Энэ нь бүрээсийг зүсэх хэрэгсэл, хэв зэрэг элэгдэл ихтэй орчинд хэрэглэхэд тохиромжтой болгодог.

Өндөр температурын тогтвортой байдал: TaC бүрээс нь зуух болон реакторын чухал бүрэлдэхүүн хэсгүүдийг 2200 ° C хүртэл температурт хамгаалж, сайн тогтвортой байдлыг харуулдаг. Энэ нь хэт температурын нөхцөлд химийн болон механик тогтвортой байдлыг хадгалж, өндөр температурт боловсруулалт хийх, өндөр температуртай орчинд хэрэглэхэд тохиромжтой.

Маш сайн химийн тогтвортой байдал: Тантал карбид нь ихэнх хүчил, шүлтүүдэд хүчтэй зэврэлтэнд тэсвэртэй бөгөөд CVD TaC бүрэх нь идэмхий орчинд субстратыг гэмтээхээс үр дүнтэйгээр хамгаалдаг.

Өндөр хайлах цэг: Тантал карбид нь өндөр хайлах цэгтэй (ойролцоогоор 3880°C) бөгөөд CVD TaC бүрээсийг хайлуулах, муудуулахгүйгээр хэт өндөр температурт ашиглах боломжийг олгодог.

Маш сайн дулаан дамжуулалт: TaC бүрэх нь өндөр дулаан дамжуулалттай бөгөөд энэ нь өндөр температурт үйл явцын үед дулааныг үр дүнтэй тарааж, орон нутгийн хэт халалтаас урьдчилан сэргийлэхэд тусалдаг.

Боломжит хэрэглээ:

• Галийн нитрид (GaN) ба Цахиурын карбидын эпитаксиаль ЗСБ реакторын бүрдэл хэсгүүд нь өрөм зөөгч, хиймэл дагуулын антен, шүршүүрийн толгой, тааз, мэдрэгч зэрэг орно.

• Цахиурын карбид, галлийн нитрид, хөнгөн цагаан нитрид (AlN) талст өсөлтийн бүрэлдэхүүн хэсгүүд, үүнд тигель, үр баригч, чиглүүлэгч цагираг, шүүлтүүр орно.

• Эсэргүүцлийн халаалтын элементүүд, тарилгын хушуу, маск хийх цагираг, гагнах төхөөрөмж зэрэг үйлдвэрлэлийн эд ангиуд

Хэрэглээний онцлог:

• 2000°C-ээс дээш температурт тогтвортой, хэт өндөр температурт ажиллах боломжтой
•Устөрөгч (Гц), аммиак (NH3), моносилан (SiH4), цахиур (Si) зэрэгт тэсвэртэй, химийн хатуу орчинд хамгаална.
• Дулааны цохилтын эсэргүүцэл нь илүү хурдан ажиллах боломжийг олгодог
• Графит нь бат бөх наалддаг тул удаан эдэлгээтэй, бүрээсийн давхарга үүсэхгүй.
• Шаардлагагүй хольц, бохирдлыг арилгахын тулд хэт өндөр цэвэршилттэй
• Хэмжээний хатуу хүлцэлд нийцсэн бүрээстэй

Техникийн үзүүлэлтүүд:

CVD-ээр өтгөн тантал карбидын бүрээсийг бэлтгэх: