TaC бүрэхметалл органик химийн уурын хуримтлал (MOCVD) технологиор ихэвчлэн бал чулуун суурь дээр бэлтгэдэг чухал материалын бүрээс юм. Энэхүү бүрхүүл нь өндөр хатуулаг, элэгдэлд тэсвэртэй, өндөр температурт тэсвэртэй, химийн тогтвортой байдал зэрэг маш сайн шинж чанартай бөгөөд янз бүрийн өндөр эрэлт хэрэгцээтэй инженерийн хэрэглээнд тохиромжтой.
MOCVD технологи нь метал органик прекурсоруудыг өндөр температурт реактив хийтэй урвалд оруулах замаар субстратын гадаргуу дээр хүссэн нийлмэл хальсыг хуримтлуулдаг түгээмэл хэрэглэгддэг нимгэн хальс ургуулах технологи юм. Бэлтгэх үедTaC бүрэх, тохиромжтой металлын органик прекурсорууд болон нүүрстөрөгчийн эх үүсвэрүүдийг сонгох, урвалын нөхцөл, тунадасжилтын параметрүүдийг хянах, жигд, нягт TaC хальсыг бал чулуун суурь дээр байрлуулж болно.
Semicera нь төрөл бүрийн эд анги, тээвэрлэгчдэд зориулсан тусгай тантал карбидын (TaC) бүрээсээр хангадаг.Semicera тэргүүлэгч бүрэх процесс нь тантал карбидын (TaC) бүрээсийг өндөр цэвэршилт, өндөр температурт тогтвортой байдал, химийн өндөр тэсвэрлэх чадварыг бий болгож, SIC/GAN талстууд болон EPI давхаргын бүтээгдэхүүний чанарыг сайжруулдаг.Графитаар бүрсэн TaC мэдрэгч), реакторын гол бүрэлдэхүүн хэсгүүдийн ашиглалтын хугацааг уртасгах. Тантал карбидын TaC бүрээсийг ашиглах нь ирмэгийн асуудлыг шийдэж, болор өсөлтийн чанарыг сайжруулахад чиглэгддэг бөгөөд Semicera нь тантал карбидын бүрэх технологийг (CVD) шийдэж, олон улсын дэвшилтэт түвшинд хүрсэн.
Олон жилийн хөгжлийн дараа Semicera технологийг байлдан дагуулавCVD TaCR&D хэлтсийн хамтарсан хүчин чармайлтаар. SiC өрмөнцөрийн өсөлтийн явцад гэмтэл гарахад хялбар байдаг боловч хэрэглэсний дарааTaC, ялгаа нь мэдэгдэхүйц юм. Доорх нь нэг талст өсөлтийн хувьд TaC-тай болон огтлолцоогүй вафель, мөн Simicera-ийн хэсгүүдийн харьцуулалтыг үзүүлэв.
TaC-тай ба үгүй
TaC хэрэглэсний дараа (баруун)
Үүнээс гадна, Semicera-ийнTaC бүрсэн бүтээгдэхүүн-тай харьцуулахад илүү урт ашиглалтын хугацаа, өндөр температурт тэсвэртэй байдлыг харуулдагSiC бүрээс.Лабораторийн хэмжилтээр манайTaC бүрээсЦельсийн 2300 хэм хүртэлх температурт удаан хугацаанд тогтвортой ажиллах боломжтой. Манай дээжийн зарим жишээг доор харуулав.
