Semicera нь төрөл бүрийн эд анги, тээвэрлэгчдэд зориулсан тусгай тантал карбидын (TaC) бүрээсээр хангадаг.Semicera тэргүүлэгч бүрэх процесс нь тантал карбидын (TaC) бүрээсийг өндөр цэвэршилт, өндөр температурт тогтвортой байдал, химийн өндөр тэсвэрлэх чадварыг бий болгож, SIC/GAN талстууд болон EPI давхаргын бүтээгдэхүүний чанарыг сайжруулдаг.Графитаар бүрсэн TaC мэдрэгч), реакторын гол бүрэлдэхүүн хэсгүүдийн ашиглалтын хугацааг уртасгах.Тантал карбидын TaC бүрээсийг ашиглах нь ирмэгийн асуудлыг шийдэж, болор өсөлтийн чанарыг сайжруулахад чиглэгддэг бөгөөд Semicera нь тантал карбидын бүрэх технологийг (CVD) шийдэж, олон улсын дэвшилтэт түвшинд хүрсэн.
8 инчийн цахиурын карбид (SiC) ялтсууд гарч ирснээр янз бүрийн хагас дамжуулагч процессуудад тавигдах шаардлага, ялангуяа температур нь 2000 хэмээс хэтрэх боломжтой эпитаксийн процесст тавигдах шаардлага улам бүр хатуу болж байна.Цахиурын карбидаар бүрсэн бал чулуу гэх мэт уламжлалт мэдрэгч материалууд нь эдгээр өндөр температурт сублимаци хийх хандлагатай байдаг бөгөөд энэ нь эпитаксийн процессыг тасалдуулдаг.Гэсэн хэдий ч CVD тантал карбид (TaC) нь энэ асуудлыг үр дүнтэй шийдэж, 2300 хэм хүртэл температурыг тэсвэрлэж, үйлчилгээний хугацааг уртасгадаг.Semicera-тай холбоо барина уу's Тантал карбид бүрэх Хагас сардэвшилтэт шийдлүүдийн талаар илүү ихийг судлах.
Олон жилийн хөгжлийн дараа Semicera технологийг байлдан дагуулавCVD TaCR&D хэлтсийн хамтарсан хүчин чармайлтаар.SiC өрмөнцөрийн өсөлтийн явцад гэмтэл гарахад хялбар байдаг боловч хэрэглэсний дарааTaC, ялгаа нь мэдэгдэхүйц юм.Доорх нь нэг талст өсөлтийн хувьд TaC-тай болон огтлолцоогүй вафель, мөн Simicera-ийн хэсгүүдийн харьцуулалтыг үзүүлэв.
TaC-тай ба үгүй
TaC хэрэглэсний дараа (баруун)
Үүнээс гадна, Semicera-ийнTaC бүрсэн бүтээгдэхүүн-тай харьцуулахад илүү урт ашиглалтын хугацаа, өндөр температурт тэсвэртэй байдлыг харуулдагSiC бүрээс.Лабораторийн хэмжилтээр манайTaC бүрээсЦельсийн 2300 хэм хүртэлх температурт удаан хугацаанд тогтвортой ажиллах боломжтой.Манай дээжийн зарим жишээг доор харуулав.
TaC бүрсэн мэдрэгч
TaC бүрсэн реактортой графит
