Semicera нь төрөл бүрийн эд анги, тээвэрлэгчдэд зориулсан тусгай тантал карбидын (TaC) бүрээсээр хангадаг.Semicera тэргүүлэгч бүрэх процесс нь тантал карбидын (TaC) бүрээсийг өндөр цэвэршилт, өндөр температурт тогтвортой байдал, химийн өндөр тэсвэрлэх чадварыг бий болгож, SIC/GAN талстууд болон EPI давхаргын бүтээгдэхүүний чанарыг сайжруулдаг.Графитаар бүрсэн TaC мэдрэгч), реакторын гол бүрэлдэхүүн хэсгүүдийн ашиглалтын хугацааг уртасгах. Тантал карбидын TaC бүрээсийг ашиглах нь ирмэгийн асуудлыг шийдэж, болор өсөлтийн чанарыг сайжруулахад чиглэгддэг бөгөөд Semicera нь тантал карбидын бүрэх технологийг (CVD) шийдэж, олон улсын дэвшилтэт түвшинд хүрсэн.
Тантал карбидаар бүрсэн битүүмжлэх цагираг нь химийн үйлдвэр, газрын тос, байгалийн хийн үйлдвэр, сансар огторгуй, хагас дамжуулагч үйлдвэрлэл гэх мэт салбарт битүүмжлэлд өргөн хэрэглэгддэг. Тэд хоолой, хавхлага, насосны систем болон бусад төхөөрөмжийг битүүмжлэх, битүүмжлэх найдвартай ажиллагааг хангах, гоожих, бохирдохоос сэргийлж, системийн хэвийн ажиллагааг хангана.
Тантал карбидаар бүрсэн битүүмжлэлийн цагирагийн шинж чанарууд нь дараах байдалтай байна.
1. Өндөр температурын тогтвортой байдал: Тантал карбидын бүрээс нь өндөр температурт орчинд бүтцийн тогтвортой байдал, сайн битүүмжлэлийг хадгалж чаддаг бөгөөд өндөр температурт процесс, хэрэглээнд тохиромжтой.
2. Зэврэлтэнд тэсвэртэй: Тантал карбидын бүрээс нь янз бүрийн химийн бодис, уусгагчийн элэгдэлд тэсвэртэй, зэврэлтэнд маш сайн тэсвэртэй, идэмхий орчинд хэрэглэхэд тохиромжтой.
3. Маш сайн лацдан холболтын гүйцэтгэл: Тантал карбид бүрсэн битүүмжлэх цагираг нь сайн битүүмжлэх чадвартай, хий, шингэн алдагдахаас үр дүнтэй сэргийлж, системийн аюулгүй, тогтвортой ажиллагааг хангадаг.
4. Элэгдэлд тэсвэртэй: Тантал карбидын бүрээс нь өндөр хатуулаг, элэгдэлд тэсвэртэй, үрэлт, элэгдлийн орчинд сайн гүйцэтгэлийг хадгалж, үйлчилгээний хугацааг уртасгаж чаддаг.
TaC-тай ба үгүй
TaC хэрэглэсний дараа (баруун)
Үүнээс гадна, Semicera-ийнTaC бүрсэн бүтээгдэхүүн-тай харьцуулахад илүү урт ашиглалтын хугацаа, өндөр температурт тэсвэртэй байдлыг харуулдагSiC бүрээс.Лабораторийн хэмжилтээр манайTaC бүрээсЦельсийн 2300 хэм хүртэлх температурт удаан хугацаанд тогтвортой ажиллах боломжтой. Манай дээжийн зарим жишээг доор харуулав.
