Semicera нь төрөл бүрийн эд анги, тээвэрлэгчдэд зориулсан тусгай тантал карбидын (TaC) бүрээсээр хангадаг.Semicera тэргүүлэгч бүрэх процесс нь тантал карбидын (TaC) бүрээсийг өндөр цэвэршилт, өндөр температурт тогтвортой байдал, химийн өндөр тэсвэрлэх чадварыг бий болгож, SIC/GAN талстууд болон EPI давхаргын бүтээгдэхүүний чанарыг сайжруулдаг.Графитаар бүрсэн TaC мэдрэгч), реакторын гол бүрэлдэхүүн хэсгүүдийн ашиглалтын хугацааг уртасгах. Тантал карбидын TaC бүрээсийг ашиглах нь ирмэгийн асуудлыг шийдэж, болор өсөлтийн чанарыг сайжруулахад чиглэгддэг бөгөөд Semicera нь тантал карбидын бүрэх технологийг (CVD) шийдэж, олон улсын дэвшилтэт түвшинд хүрсэн.
Тантал карбидаар бүрсэн вафель зөөгчийг хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэлийн процесст өрөм боловсруулах, боловсруулах процесст өргөн ашигладаг. Тэдгээр нь үйлдвэрлэлийн явцад вафельний аюулгүй байдал, нарийвчлал, тууштай байдлыг хангахын тулд тогтвортой дэмжлэг, хамгаалалтыг өгдөг. Тантал карбидын бүрээс нь тээвэрлэгчийн ашиглалтын хугацааг уртасгаж, зардлыг бууруулж, хагас дамжуулагч бүтээгдэхүүний чанар, найдвартай байдлыг сайжруулдаг.
Тантал карбидаар бүрсэн вафель зөөгчийг дараах байдлаар тайлбарлав.
1. Материалын сонголт: Тантал карбид нь маш сайн гүйцэтгэлтэй, өндөр хатуулагтай, хайлах температур өндөр, зэврэлтэнд тэсвэртэй, маш сайн механик шинж чанартай материал тул хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэлийн процесст өргөн хэрэглэгддэг.
2. Гадаргуугийн бүрээс: Тантал карбидын бүрээсийг вафель зөөгчийн гадаргуу дээр тусгай бүрэх процессоор түрхэж жигд, нягт тантал карбидын бүрээсийг бүрдүүлнэ. Энэхүү бүрхүүл нь нэмэлт хамгаалалт, элэгдэлд тэсвэртэй байхын зэрэгцээ дулаан дамжуулалт сайтай байдаг.
3. Хавтгай байдал ба нарийвчлал: Тантал карбидаар бүрсэн вафель зөөгч нь үйлдвэрлэлийн процессын явцад ялтсын тогтвортой байдал, нарийвчлалыг баталгаажуулдаг өндөр тэгш, нарийвчлалтай. Зөөврийн гадаргуугийн тэгш байдал, өнгөлгөө нь вафельний чанар, гүйцэтгэлийг хангахад чухал үүрэг гүйцэтгэдэг.
4. Температурын тогтвортой байдал: Тантал карбидаар бүрсэн вафель зөөвөрлөгч нь өндөр температуртай орчинд хэв гажилт, сулрахгүйгээр тогтвортой байдлыг хадгалж, өндөр температурт процесст өрөмийн тогтвортой байдал, тууштай байдлыг хангана.
5. Зэврэлтэнд тэсвэртэй: Тантал карбидын бүрээс нь зэврэлтэнд маш сайн тэсвэртэй, химийн бодис, уусгагчийн элэгдэлд тэсвэртэй, зөөгчийг шингэн ба хийн зэврэлтээс хамгаалж чаддаг.
TaC-тай ба үгүй
TaC хэрэглэсний дараа (баруун)
Үүнээс гадна, Semicera-ийнTaC бүрсэн бүтээгдэхүүн-тай харьцуулахад илүү урт ашиглалтын хугацаа, өндөр температурт тэсвэртэй байдлыг харуулдагSiC бүрээс.Лабораторийн хэмжилтээр манайTaC бүрээсЦельсийн 2300 хэм хүртэлх температурт удаан хугацаанд тогтвортой ажиллах боломжтой. Манай дээжийн зарим жишээг доор харуулав.
