ХагасTaC Coating Chuck, хамгийн сүүлийн үеийн вакуум патроноор тоноглогдсонTaC бүрээс, тусгайлан хагас дамжуулагч зууханд зориулагдсан. Орчин үеийн хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлийн үйл явцын нарийн шаардлагад нийцүүлэн боловсруулсан энэхүү шинэлэг технологи нь нарийвчлал, найдвартай байдал, урт наслалтын шинэ стандартыг бий болгодог.
Хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэлийн гол цөм нь боловсруулалтын явцад нарийн хяналт, тогтвортой байдлыг хангах чухал хэрэгцээ юм. TaC Coating Chuck нь дэвшилтэт зүйлсийг нэгтгэснээр энэ хэрэгцээг хангадагTaC (тантал карбид) бүрээстүүний гадаргуу дээр, онцгой дулааны тогтвортой байдал, бат бөх, химийн зэврэлтэнд тэсвэртэй байдлыг хангах. Материалын энэхүү өвөрмөц хослол нь чакны гүйцэтгэлийг сайжруулаад зогсохгүй ашиглалтын хугацааг уртасгаж, тоо томшгүй олон мөчлөгт тогтмол үр дүнг өгдөг.
TaC Coating Chuck-ийн гол давуу талуудын нэг нь боловсруулах бүх мөчлөгийн туршид вакуум бүрэн бүтэн байдлыг өндөр түвшинд байлгах чадвар юм. Энэхүү технологи нь хий ялгаруулалт, бохирдлыг үр дүнтэй бууруулснаар хагас дамжуулагч материалын цэвэр байдал, чанарыг баталгаажуулж, төхөөрөмжийн өндөр гүйцэтгэл, найдвартай байдлыг бий болгодог.
Түүнчлэн, TaC Coating Chuck нь өөр өөр хэмжээ, геометр бүхий олон төрлийн хагас дамжуулагч субстратуудыг багтаасан хосгүй олон талт байдлыг санал болгодог. TaC Coating Chuck-ийн тохируулгатай загвар нь одоо байгаа хагас дамжуулагч зуухны системд саадгүй нэгтгэх, зогсолтыг багасгах, бүтээмжийг нэмэгдүүлэх боломжийг олгодог.
TaC Coating Chuck-ийн тусламжтайгаар хагас дамжуулагч үйлдвэрлэгчид илүү өндөр дамжуулалт, сайжруулсан гарц, нийт зардлыг бууруулах боломжтой. Судалгааны лаборатори эсвэл их хэмжээний үйлдвэрлэлийн байгууламжид байгаа эсэхээс үл хамааран энэхүү дэвшилтэт технологи нь хагас дамжуулагч мэргэжилтнүүдэд чанарын хатуу стандартыг баримтлан инновацийн хил хязгаарыг даван туулах боломжийг олгодог.
TaC-тай ба үгүй
TaC хэрэглэсний дараа (баруун)
Үүнээс гадна, Semicera-ийнTaC бүрсэн бүтээгдэхүүн-тай харьцуулахад илүү урт ашиглалтын хугацаа, өндөр температурт тэсвэртэй байдлыг харуулдагSiC бүрээс.Лабораторийн хэмжилтээр манайTaC бүрээсЦельсийн 2300 хэм хүртэлх температурт удаан хугацаанд тогтвортой ажиллах боломжтой. Манай дээжийн зарим жишээг доор харуулав.