Тантал карбид бүрсэн бал чулуун хуудаснь нимгэн давхаргатай бал чулуу материал юмтантал карбидсубстратын гадаргуу дээр. Тантал карбидын нимгэн давхарга нь ихэвчлэн физик уурын хуримтлал (PVD) эсвэл химийн уурын хуримтлал (CVD) гэх мэт техникээр бал чулууны субстратын гадаргуу дээр үүсдэг. Энэхүү бүрхүүл нь өндөр хатуулаг, элэгдэлд тэсвэртэй, зэврэлтэнд тэсвэртэй, өндөр температурт тогтвортой байдал зэрэг маш сайн шинж чанартай байдаг.
Semicera нь төрөл бүрийн эд анги, тээвэрлэгчдэд зориулсан тусгай тантал карбидын (TaC) бүрээсээр хангадаг.Semicera тэргүүлэгч бүрэх процесс нь тантал карбидын (TaC) бүрээсийг өндөр цэвэршилт, өндөр температурт тогтвортой байдал, химийн өндөр тэсвэрлэх чадварыг бий болгож, SIC/GAN талстууд болон EPI давхаргын бүтээгдэхүүний чанарыг сайжруулдаг.Графитаар бүрсэн TaC мэдрэгч), реакторын гол бүрэлдэхүүн хэсгүүдийн ашиглалтын хугацааг уртасгах. Тантал карбидын TaC бүрээсийг ашиглах нь ирмэгийн асуудлыг шийдэж, болор өсөлтийн чанарыг сайжруулахад чиглэгддэг бөгөөд Semicera нь тантал карбидын бүрэх технологийг (CVD) шийдэж, олон улсын дэвшилтэт түвшинд хүрсэн.
Олон жилийн хөгжлийн дараа Semicera технологийг байлдан дагуулавCVD TaCR&D хэлтсийн хамтарсан хүчин чармайлтаар. SiC өрмөнцөрийн өсөлтийн явцад гэмтэл гарахад хялбар байдаг боловч хэрэглэсний дарааTaC, ялгаа нь мэдэгдэхүйц юм. Доорх нь нэг талст өсөлтийн хувьд TaC-тай болон огтлолцоогүй вафель, мөн Simicera-ийн хэсгүүдийн харьцуулалтыг үзүүлэв.
Тантал карбидаар бүрсэн бал чулууны гол давуу талууд нь:
1. Өндөр температурт тэсвэртэй: Тантал карбид нь өндөр хайлах цэг, өндөр температурт маш сайн тогтвор суурьшилтай тул бүрсэн бал чулууг өндөр температурт ашиглахад тохиромжтой болгодог.
2. Зэврэлтэнд тэсвэртэй: Тантал карбидын бүрээс нь олон химийн идэмхий бодисуудын элэгдэлд тэсвэртэй, материалын ашиглалтын хугацааг уртасгадаг.
3. Өндөр хатуулаг: Танталын карбидын нимгэн давхаргын өндөр хатуулаг нь элэгдэлд сайн тэсвэртэй бөгөөд элэгдэлд тэсвэртэй байх шаардлагатай хэрэглээнд тохиромжтой.
4. Химийн тогтвортой байдал: Тантал карбидын бүрээс нь химийн зэврэлтэнд маш сайн тэсвэртэй бөгөөд зарим идэмхий орчинд хэрэглэхэд тохиромжтой.
TaC-тай ба үгүй
TaC хэрэглэсний дараа (баруун)
Үүнээс гадна, Semicera-ийнTaC бүрсэн бүтээгдэхүүн-тай харьцуулахад илүү урт ашиглалтын хугацаа, өндөр температурт тэсвэртэй байдлыг харуулдагSiC бүрээс.Лабораторийн хэмжилтээр манайTaC бүрээсЦельсийн 2300 хэм хүртэлх температурт удаан хугацаанд тогтвортой ажиллах боломжтой. Манай дээжийн зарим жишээг доор харуулав.
