Тантал карбидаар бүрсэн мэдрэгчийг дэмжих хавтаннимгэн давхаргаар хучигдсан мэдрэгч буюу тулгуур бүтэц юмтантал карбид. Энэхүү бүрхүүлийг мэдрэгчийн гадаргуу дээр физик уурын хуримтлал (PVD) эсвэл химийн уурын хуримтлал (CVD) гэх мэт техникээр үүсгэж, мэдрэгчийг илүү сайн шинж чанартай болгодог.тантал карбид.
Semicera нь төрөл бүрийн эд анги, тээвэрлэгчдэд зориулсан тусгай тантал карбидын (TaC) бүрээсээр хангадаг.Semicera тэргүүлэгч бүрэх процесс нь тантал карбидын (TaC) бүрээсийг өндөр цэвэршилт, өндөр температурт тогтвортой байдал, химийн өндөр тэсвэрлэх чадварыг бий болгож, SIC/GAN талстууд болон EPI давхаргын бүтээгдэхүүний чанарыг сайжруулдаг.Графитаар бүрсэн TaC мэдрэгч), реакторын гол бүрэлдэхүүн хэсгүүдийн ашиглалтын хугацааг уртасгах. Тантал карбидын TaC бүрээсийг ашиглах нь ирмэгийн асуудлыг шийдэж, болор өсөлтийн чанарыг сайжруулахад чиглэгддэг бөгөөд Semicera нь тантал карбидын бүрэх технологийг (CVD) шийдэж, олон улсын дэвшилтэт түвшинд хүрсэн.
Олон жилийн хөгжлийн дараа Semicera технологийг байлдан дагуулавCVD TaCR&D хэлтсийн хамтарсан хүчин чармайлтаар. SiC өрмөнцөрийн өсөлтийн явцад гэмтэл гарахад хялбар байдаг боловч хэрэглэсний дарааTaC, ялгаа нь мэдэгдэхүйц юм. Доорх нь нэг талст өсөлтийн хувьд TaC-тай болон огтлолцоогүй вафель, мөн Simicera-ийн хэсгүүдийн харьцуулалтыг үзүүлэв.
Тантал карбидаар бүрсэн суурийн тулгуур хавтангийн үндсэн шинж чанарууд нь:
1. Өндөр температурын тогтвортой байдал: Тантал карбид нь өндөр температурт маш сайн тогтворжсон тул бүрсэн суурийн тулгуур хавтанг өндөр температурт ажиллах орчинд ашиглахад тохиромжтой болгодог.
2. Зэврэлтэнд тэсвэртэй: Тантал карбидын бүрээс нь зэврэлтэнд сайн тэсвэртэй, химийн зэврэлт, исэлдэлтийг тэсвэрлэх чадвартай, суурийн ашиглалтын хугацааг уртасгадаг.
3. Өндөр хатуулаг ба элэгдэлд тэсвэртэй: Тантал карбидын бүрээсийн өндөр хатуулаг нь үндсэн тулгуур хавтанг сайн элэгдэлд тэсвэртэй болгодог бөгөөд энэ нь элэгдэлд тэсвэртэй байх шаардлагатай тохиолдолд тохиромжтой.
4. Химийн тогтвортой байдал: Тантал карбид нь янз бүрийн химийн бодисуудад өндөр тогтвортой байдаг тул бүрсэн суурийн тулгуур хавтанг зарим идэмхий орчинд сайн гүйцэтгэдэг.
TaC-тай ба үгүй
TaC хэрэглэсний дараа (баруун)
Үүнээс гадна, Semicera-ийнTaC бүрсэн бүтээгдэхүүн-тай харьцуулахад илүү урт ашиглалтын хугацаа, өндөр температурт тэсвэртэй байдлыг харуулдагSiC бүрээс.Лабораторийн хэмжилтээр манайTaC бүрээсЦельсийн 2300 хэм хүртэлх температурт удаан хугацаанд тогтвортой ажиллах боломжтой. Манай дээжийн зарим жишээг доор харуулав.
