ХагасТантал карбидMOCVD халаагуурууд нь 2300°C хүртэл температурт хүрэх чадвартай, өндөр температурт хамгийн эрэлт хэрэгцээтэй хэрэглээнд зориулагдсан. Эдгээр халаагуур нь металл-органик химийн уурын хуримтлал (MOCVD) процессын тогтвортой, найдвартай ажиллагааг хангадаг онцгой дулааны тогтвортой байдлыг хангадаг. Semicera нь хамгийн сүүлийн үеийн салбаруудын хэрэгцээнд нийцсэн бат бөх, нарийвчлал сайтай бүтээгдэхүүнийг баталгаажуулдаг.
Тантал карбидын дэвшилтэт материалыг ашиглан бүтээгдсэн эдгээр MOCVD халаагуур нь өндөр температурт ч исэлдэлт, химийн зэврэлтэнд гайхалтай тэсвэртэй байдаг. Энэхүү бат бөх чанар нь тэдгээрийг хагас дамжуулагч үйлдвэрлэх, эпитакси болон нарийвчлал, найдвартай байдлыг шаарддаг өндөр температурын бусад хэрэглээнд тохиромжтой сонголт болгодог.
Semicera-ийн дээд зэргийн дулааны шинж чанаруудТантал карбидMOCVD халаагуурууд нь үйл явцыг оновчтой болгоход хувь нэмэр оруулдаг. Тэдний бат бөх бүтэц нь дулааны тэлэлт, дулааны алдагдлыг багасгаж, субстрат даяар жигд температурын хуваарилалтыг хангадаг. Энэ нь бүтээгдэхүүний чанарыг сайжруулж, үйл ажиллагааны зардлыг бууруулахад хүргэдэг.
Semicera нь зөвхөн үйлдвэрлэлийн стандартыг хангаад зогсохгүй давсан халаагуураар хангахад зориулагдсан. Тус бүрТантал карбидMOCVD халаагч нь дээд зэргийн гүйцэтгэлийг хангахын тулд чанарын хяналтын хатуу арга хэмжээ авдаг. 30 хоногийн хугацаатай Semicera нь орчин үеийн үйлдвэрлэлийн үйл ажиллагаанд шаардагдах найдвартай байдал, хурдыг өгдөг.
Хагас дамжуулагч, сансар огторгуй, материалын судалгааны салбарт ч бай, SemiceraТантал карбидMOCVD халаагуур нь өндөр температурын процесст дээд зэргийн үр дүнд хүрэх гол шийдэл юм. Тэдний 2300°C-ийн онцгой гүйцэтгэл нь нарийвчлал, бат бөх чанарыг чухалчилдаг хэрэглээнд зайлшгүй шаардлагатай болгодог.
TaC-тай ба үгүй
TaC хэрэглэсний дараа (баруун)
