Semicera нь төрөл бүрийн эд анги, тээвэрлэгчдэд зориулсан тусгай тантал карбидын (TaC) бүрээсээр хангадаг.Semicera тэргүүлэгч бүрэх процесс нь тантал карбидын (TaC) бүрээсийг өндөр цэвэршилт, өндөр температурт тогтвортой байдал, химийн өндөр тэсвэрлэх чадварыг бий болгож, SIC/GAN талстууд болон EPI давхаргын бүтээгдэхүүний чанарыг сайжруулдаг.Графитаар бүрсэн TaC мэдрэгч), реакторын гол бүрэлдэхүүн хэсгүүдийн ашиглалтын хугацааг уртасгах. Тантал карбидын TaC бүрээсийг ашиглах нь ирмэгийн асуудлыг шийдэж, болор өсөлтийн чанарыг сайжруулахад чиглэгддэг бөгөөд Semicera нь тантал карбидын бүрэх технологийг (CVD) шийдэж, олон улсын дэвшилтэт түвшинд хүрсэн.
Тантал карбидын гаригийн дискний ажиллах зарчим нь гаригийн араа дамжуулагчтай төстэй бөгөөд гаригийн диск нь завсрын хөдөлгөгч элемент болж, дотоод болон гадна араатай холбож цахилгаан дамжуулалт, хөдөлгөөнийг удирддаг. Гаригийн диск нь ихэвчлэн гөлгөр дамжуулалт, өндөр эргэлтийн гаралтыг бий болгохын тулд дотоод болон гадна араатай нийлдэг олон шүдний ховилтой байдаг.
TaC-тай ба үгүй
TaC хэрэглэсний дараа (баруун)
Тантал карбидын гаригийн дискний шинж чанарууд нь дараах байдалтай байна.
1. Элэгдлийн эсэргүүцэл: Тантал карбид материал нь маш өндөр хатуулаг, элэгдэлд тэсвэртэй, өндөр ачаалал, өндөр хурдтай хөдөлгөөний нөхцөлд сайн эдэлгээг хадгалж, элэгдэл, үрэлтийн алдагдлыг бууруулдаг.
2. Өндөр температурын тогтвортой байдал: Тантал карбид нь өндөр температурт маш сайн тогтвор суурьшилтай бөгөөд өндөр температурт удаан хугацаагаар ажиллах боломжтой бөгөөд энэ нь өндөр температурын процесс, хэрэглээнд тохиромжтой.
3. Үрэлтийн бага коэффициент: Тантал карбидын гадаргуу нь бага үрэлтийн коэффициенттэй тул дамжуулах явцад эрчим хүчний алдагдал, дулаан үүсэхийг багасгаж, дамжуулалтын үр ашгийг сайжруулдаг.
4. Өндөр нарийвчлал, тогтвортой байдал: Тантал карбидын гаригийн дискийг нарийн гар урлал, өндөр нарийвчлалтай, тогтвортой байдлаар үйлдвэрлэдэг бөгөөд дамжуулалт, байрлалыг нарийн хянах боломжтой.
Үүнээс гадна, Semicera-ийнTaC бүрсэн бүтээгдэхүүн-тай харьцуулахад илүү урт ашиглалтын хугацаа, өндөр температурт тэсвэртэй байдлыг харуулдагSiC бүрээс.Лабораторийн хэмжилтээр манайTaC бүрээсЦельсийн 2300 хэм хүртэлх температурт удаан хугацаанд тогтвортой ажиллах боломжтой. Манай дээжийн зарим жишээг доор харуулав.