Semicera нь төрөл бүрийн эд анги, тээвэрлэгчдэд зориулсан тусгай тантал карбидын (TaC) бүрээсээр хангадаг.Semicera тэргүүлэгч бүрэх процесс нь тантал карбидын (TaC) бүрээсийг өндөр цэвэршилт, өндөр температурт тогтвортой байдал, химийн өндөр тэсвэрлэх чадварыг бий болгож, SIC/GAN талстууд болон EPI давхаргын бүтээгдэхүүний чанарыг сайжруулдаг.Графитаар бүрсэн TaC мэдрэгч), реакторын гол бүрэлдэхүүн хэсгүүдийн ашиглалтын хугацааг уртасгах. Тантал карбидын TaC бүрээсийг ашиглах нь ирмэгийн асуудлыг шийдэж, болор өсөлтийн чанарыг сайжруулахад чиглэгддэг бөгөөд Semicera нь тантал карбидын бүрэх технологийг (CVD) шийдэж, олон улсын дэвшилтэт түвшинд хүрсэн.
Тантал карбидын элэгдэлд тэсвэртэй бүрэх цагиргууд нь механик лац, шахуургын систем, хавхлага, холхивч, зүсэх хэрэгсэл гэх мэт өндөр үрэлтийн болон элэгдэлд тэсвэртэй янз бүрийн хувилбаруудад өргөн хэрэглэгддэг. Эдгээр нь элэгдлээс найдвартай хамгаалж, эд ангиудын элэгдэл, эвдрэлийг багасгаж, тоног төхөөрөмжийн найдвартай байдал, ашиглалтын хугацааг сайжруулдаг.
Тантал карбидын элэгдэлд тэсвэртэй бүрэх цагирагуудын шинж чанарууд нь дараах байдалтай байна.
1. Элэгдэлд тэсвэртэй: Тантал карбидын бүрээс нь маш өндөр хатуулаг, элэгдэлд тэсвэртэй, үрэлт, элэгдэлд тэсвэртэй, бүрэх цагирагийн ашиглалтын хугацааг уртасгадаг.
2. Үрэлтийн бага коэффициент: Тантал карбидын бүрээс нь үрэлтийн коэффициент багатай тул бүрэх болон бусад материалын хоорондох үрэлтийн алдагдал, эрчим хүчний зарцуулалтыг бууруулдаг.
3. Зэврэлтэнд тэсвэртэй: Тантал карбидын бүрээс нь янз бүрийн химийн бодис, уусгагчийн элэгдэлд тэсвэртэй, зэврэлтэнд маш сайн тэсвэртэй, идэмхий орчинд хэрэглэхэд тохиромжтой.
4. Өндөр температурын тогтвортой байдал: Тантал карбидын бүрээс нь өндөр температурт орчинд бүтцийн тогтвортой байдал, элэгдэлд тэсвэртэй байдлыг хадгалах боломжтой бөгөөд өндөр температурт процесс, хэрэглээнд тохиромжтой.
TaC-тай ба үгүй
TaC хэрэглэсний дараа (баруун)
Үүнээс гадна, Semicera-ийнTaC бүрсэн бүтээгдэхүүн-тай харьцуулахад илүү урт ашиглалтын хугацаа, өндөр температурт тэсвэртэй байдлыг харуулдагSiC бүрээс.Лабораторийн хэмжилтээр манайTaC бүрээсЦельсийн 2300 хэм хүртэлх температурт удаан хугацаанд тогтвортой ажиллах боломжтой. Манай дээжийн зарим жишээг доор харуулав.
