MEMS Processing - Бондинг: Хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэл дэх хэрэглээ ба гүйцэтгэл, Semicera Customized Service
Микроэлектроник болон хагас дамжуулагчийн салбарт MEMS (микро цахилгаан механик систем) технологи нь инноваци, өндөр хүчин чадалтай тоног төхөөрөмжийг жолоодох үндсэн технологийн нэг болсон. Шинжлэх ухаан, технологийн дэвшлийн дагуу MEMS технологи нь мэдрэгч, идэвхжүүлэгч, оптик төхөөрөмж, эмнэлгийн тоног төхөөрөмж, автомашины электроник болон бусад салбарт өргөн хэрэглэгдэж, аажмаар орчин үеийн технологийн салшгүй хэсэг болсон. Эдгээр талбарт MEMS боловсруулах гол алхам болох холбох процесс (Бонд) нь төхөөрөмжийн гүйцэтгэл, найдвартай байдалд чухал үүрэг гүйцэтгэдэг.
Бонд гэдэг нь хоёр ба түүнээс дээш материалыг физик болон химийн аргаар нягт холбосон технологи юм. Бүтцийн бүрэн бүтэн байдал, үйл ажиллагааны хэрэгжилтийг хангахын тулд ихэвчлэн янз бүрийн материалын давхаргыг MEMS төхөөрөмжид холбох замаар холбох шаардлагатай байдаг. MEMS төхөөрөмжийг үйлдвэрлэх явцад холбох нь зөвхөн холболтын процесс төдийгүй дулааны тогтвортой байдал, механик хүч чадал, цахилгааны гүйцэтгэл болон төхөөрөмжийн бусад үзүүлэлтүүдэд шууд нөлөөлдөг.
Өндөр нарийвчлалтай MEMS боловсруулахдаа холбох технологи нь төхөөрөмжийн гүйцэтгэлд нөлөөлөх аливаа согогоос зайлсхийхийн зэрэгцээ материалын хооронд нягт уялдаатай байх шаардлагатай. Иймд наах үйл явцыг нарийн хянах, өндөр чанартай холбох материал нь эцсийн бүтээгдэхүүн нь үйлдвэрлэлийн стандартад нийцсэн байх гол хүчин зүйл юм.
Хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлийн MEMS холболтын хэрэглээ
Хагас дамжуулагчийн салбарт MEMS технологийг мэдрэгч, хурдатгал хэмжигч, даралт мэдрэгч, гироскоп зэрэг бичил төхөөрөмжүүдийн үйлдвэрлэлд өргөн ашигладаг. Бяцхан, нэгдсэн, ухаалаг бүтээгдэхүүний эрэлт нэмэгдэж байгаа тул MEMS төхөөрөмжүүдийн нарийвчлал, гүйцэтгэлийн шаардлага мөн нэмэгдэж байна. Эдгээр хэрэглээнд цахиур хавтан, шил, металл, полимер гэх мэт янз бүрийн материалыг хооронд нь холбох технологийг ашиглан үр ашигтай, тогтвортой үйл ажиллагааг хангадаг.
1. Даралт мэдрэгч ба хурдатгал хэмжигч
Автомашин, сансар огторгуй, хэрэглээний цахилгаан хэрэгсэл гэх мэт салбарт MEMS даралт мэдрэгч ба хурдатгал хэмжигчийг хэмжилт, хяналтын системд өргөн ашигладаг. Холболтын процесс нь өндөр мэдрэмж, нарийвчлалыг хангахын тулд цахиурын чипс болон мэдрэгчийн элементүүдийг холбоход хэрэглэгддэг. Эдгээр мэдрэгч нь хүрээлэн буй орчны эрс тэс нөхцөлийг тэсвэрлэх чадвартай байх ёстой бөгөөд өндөр чанартай холбох процесс нь температурын өөрчлөлтөөс болж материалыг салгах, эвдрэхээс үр дүнтэй сэргийлж чадна.
2. Микро-оптик төхөөрөмж ба MEMS оптик унтраалга
Оптик харилцаа холбоо, лазер төхөөрөмжүүдийн салбарт MEMS оптик төхөөрөмж болон оптик унтраалга чухал үүрэг гүйцэтгэдэг. Оптик дохионы дамжуулалтын үр ашиг, тогтвортой байдлыг хангахын тулд цахиурт суурилсан MEMS төхөөрөмжүүд болон оптик утас, толь зэрэг материалын хооронд нарийн холболтыг бий болгоход холбох технологийг ашигладаг. Ялангуяа өндөр давтамжтай, өргөн зурвасын өргөнтэй, хол зайд дамжуулдаг хэрэглээнд өндөр хүчин чадалтай холбох технологи маш чухал юм.
3. MEMS гироскоп ба инерцийн мэдрэгч
MEMS гироскоп болон инерцийн мэдрэгчийг бие даасан жолоодлого, робот техник, сансар огторгуй зэрэг өндөр зэрэглэлийн салбарт нарийн навигаци, байршил тогтооход өргөнөөр ашигладаг. Өндөр нарийвчлалтай холбох процессууд нь төхөөрөмжийн найдвартай байдлыг хангаж, урт хугацааны ажиллагаа эсвэл өндөр давтамжийн ажиллагааны явцад гүйцэтгэлийн уналт, эвдрэлээс зайлсхийх боломжтой.
MEMS боловсруулахад холбох технологийн гүйцэтгэлийн үндсэн шаардлага
MEMS боловсруулахад холбох процессын чанар нь төхөөрөмжийн гүйцэтгэл, ашиглалтын хугацаа, тогтвортой байдлыг шууд тодорхойлдог. MEMS төхөөрөмжүүд нь хэрэглээний янз бүрийн хувилбаруудад удаан хугацаанд найдвартай ажиллах боломжтой байхын тулд холбох технологи нь дараах үндсэн гүйцэтгэлтэй байх ёстой.
1. Өндөр дулааны тогтвортой байдал
Хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэлийн олон хэрэглээний орчин нь өндөр температуртай байдаг, ялангуяа автомашин, сансар огторгуй гэх мэт. Холбогч материалын дулааны тогтвортой байдал нь маш чухал бөгөөд температурын өөрчлөлтийг муудах, эвдрэлгүйгээр тэсвэрлэх чадвартай.
2. Элэгдэлд тэсвэртэй
MEMS төхөөрөмжүүд нь ихэвчлэн микро механик бүтэцтэй байдаг бөгөөд урт хугацааны үрэлт, хөдөлгөөн нь холболтын хэсгүүдийн элэгдэлд хүргэдэг. Урт хугацааны ашиглалтын явцад төхөөрөмжийн тогтвортой байдал, үр ашгийг хангахын тулд холбох материал нь элэгдэлд тэсвэртэй байх ёстой.
3. Өндөр цэвэршилттэй
Хагас дамжуулагчийн үйлдвэр нь материалын цэвэр байдалд маш хатуу шаардлага тавьдаг. Аливаа жижиг бохирдуулагч нь төхөөрөмжийн эвдрэл, гүйцэтгэлийг доройтуулж болзошгүй. Иймээс уг төхөөрөмжийг ажиллуулах явцад гадны бохирдолд өртөхгүй байхын тулд холбох явцад ашигласан материал нь маш өндөр цэвэршилттэй байх ёстой.
4. Нарийн холболтын нарийвчлал
MEMS төхөөрөмжүүд нь ихэвчлэн микрон түвшний эсвэл бүр нанометрийн түвшний боловсруулалтын нарийвчлал шаарддаг. Холбох процесс нь төхөөрөмжийн үйл ажиллагаа, гүйцэтгэлд нөлөөлөхгүй байхын тулд материалын давхарга бүрийг нарийн залгах шаардлагатай.
Анодын холбоо
Анод холболт:
● Цахиур ба шил, металл ба шил, хагас дамжуулагч ба хайлш, хагас дамжуулагч ба шилний хооронд холбоход тохиромжтой.
Эвтектоид холбоо:
● PbSn, AuSn, CuSn, AuSi зэрэг материалд хэрэглэх боломжтой
Цавуу холбох:
● AZ4620, SU8 зэрэг тусгай цавуугаар тохирох тусгай цавуу ашиглана уу.
● 4 инч ба 6 инчийн хэмжээтэй тохирно
Semicera Custom Bonding Service
MEMS боловсруулах шийдлүүдийн салбарт тэргүүлэгч компанийн хувьд Semicera нь хэрэглэгчдэд өндөр нарийвчлалтай, өндөр тогтвортой, захиалгат холболтын үйлчилгээг үзүүлэх үүрэгтэй. Манай холбох технологи нь цахиур, шил, металл, керамик гэх мэт янз бүрийн материалыг холбоход өргөн хэрэглэгддэг бөгөөд хагас дамжуулагч болон MEMS талбарт өндөр чанартай хэрэглээнд шинэлэг шийдлүүдийг өгдөг.
Semicera нь дэвшилтэт үйлдвэрлэлийн тоног төхөөрөмж, техникийн багтай бөгөөд үйлчлүүлэгчдийн тусгай хэрэгцээнд нийцүүлэн холбох шийдлүүдийг гаргаж чаддаг. Өндөр температур, өндөр даралтын орчинд найдвартай холболт, эсвэл нарийн бичил төхөөрөмжтэй холбох эсэхээс үл хамааран Semicera нь бүтээгдэхүүн бүрийг чанарын өндөр түвшинд байлгахын тулд янз бүрийн нарийн төвөгтэй процессын шаардлагыг хангаж чадна.
Манай захиалгат холболтын үйлчилгээ нь ердийн холбох процессоор хязгаарлагдахгүй, мөн металл холбох, дулааны шахалтын холболт, наалдамхай холболт болон бусад процессуудыг багтаасан бөгөөд янз бүрийн материал, бүтэц, хэрэглээний шаардлагад мэргэжлийн техникийн дэмжлэг үзүүлэх боломжтой. Нэмж дурдахад, Semicera нь үйлчлүүлэгчдийн техникийн шаардлага бүрийг үнэн зөв хэрэгжүүлэхийн тулд прототип боловсруулахаас эхлээд бөөнөөр үйлдвэрлэх хүртэлх бүх үйлчилгээг хэрэглэгчдэд үзүүлж чадна.
