Semicera салбартаа тэргүүлэгчийг танилцуулж байнаВафель зөөгч, үйлдвэрлэлийн процессын янз бүрийн үе шатанд нарийн ширхэгтэй хагас дамжуулагч хавтангуудыг дээд зэргийн хамгаалалт, саадгүй тээвэрлэх зорилгоор зохион бүтээсэн. МанайВафель зөөгчОрчин үеийн хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэлийн хатуу шаардлагыг хангахын тулд нарийн нямбай бүтээгдсэн бөгөөд таны өргүүрийн бүрэн бүтэн байдал, чанарыг үргэлж хангаж өгдөг.
Гол онцлогууд:
• Дээд зэрэглэлийн материалын хийц:Өндөр чанартай, бохирдолд тэсвэртэй материалаар бүтээгдсэн бөгөөд бат бөх, удаан эдэлгээтэй байх ба тэдгээрийг цэвэрхэн орчинд ашиглахад тохиромжтой.
•Нарийвчлалтай дизайн:Харьцах, тээвэрлэх явцад ялтсыг гулсах, гэмтээхгүйн тулд үүрний нарийн тохируулга, найдвартай барих механизмтай.
•Олон талт нийцтэй байдал:Төрөл бүрийн хагас дамжуулагчийн хэрэглээнд уян хатан байдлыг хангасан өргөн цар хүрээтэй хавтанцарын хэмжээ, зузааныг багтаасан.
•Эргономиктой харьцах:Хөнгөн жинтэй, хэрэглэгчдэд ээлтэй загвар нь ачих, буулгахад хялбар, үйл ажиллагааны үр ашгийг дээшлүүлж, харьцах хугацааг багасгадаг.
•Тохируулах боломжтой сонголтууд:Ажлын урсгалыг оновчтой болгохын тулд материалын сонголт, хэмжээ тохируулга, шошго зэрэг тодорхой шаардлагад нийцүүлэн өөрчлөхийг санал болгодог.
Semicera-ийн тусламжтайгаар хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэлийн процессыг сайжруулаарайВафель зөөгч, хавтанцараа бохирдол, механик гэмтлээс хамгаалах төгс шийдэл. Салбарын стандартыг хангаад зогсохгүй давсан бүтээгдэхүүнийг хүргэхийн тулд чанар, инновацийн талаарх бидний амлалтад итгээрэй, энэ нь таны үйл ажиллагааг жигд, үр ашигтай явуулах боломжийг олгоно.
| Эд зүйлс | Үйлдвэрлэл | Судалгаа | Дамми |
| Кристал параметрүүд | |||
| Политип | 4H | ||
| Гадаргуугийн чиглэлийн алдаа | <11-20 >4±0.15° | ||
| Цахилгааны параметрүүд | |||
| Допант | n төрлийн азот | ||
| Эсэргүүцэл | 0.015-0.025 ом·см | ||
| Механик параметрүүд | |||
| Диаметр | 150.0±0.2мм | ||
| Зузаан | 350±25 мкм | ||
| Үндсэн хавтгай чиг баримжаа | [1-100]±5° | ||
| Үндсэн хавтгай урт | 47.5±1.5мм | ||
| Хоёрдогч байр | Байхгүй | ||
| TTV | ≤5 мкм | ≤10 мкм | ≤15 мкм |
| LTV | ≤3 мкм(5мм*5мм) | ≤5 мкм(5мм*5мм) | ≤10 мкм(5мм*5мм) |
| Нум | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| Муухай | ≤35 мкм | ≤45 мкм | ≤55 мкм |
| Урд талын барзгар байдал (AFM) | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| Бүтэц | |||
| Микро хоолойн нягтрал | <1 э/см2 | <10 эа/см2 | <15 эа/см2 |
| Металлын хольц | ≤5E10атом/см2 | NA | |
| BPD | ≤1500 ea/см2 | ≤3000 ea/см2 | NA |
| TSD | ≤500 ea/см2 | ≤1000 ea/cm2 | NA |
| Урд чанар | |||
| Урд | Si | ||
| Гадаргуугийн өнгөлгөө | Si-face CMP | ||
| Бөөмүүд | ≤60ea/waf (хэмжээ≥0.3μm) | NA | |
| Зураас | ≤5ea/мм. Хуримтлагдсан урт ≤Диаметр | Хуримтлагдсан урт≤2*Диаметр | NA |
| Жүржийн хальс/цоорхой/толбо/суралт/ хагарал/бохирдол | Байхгүй | NA | |
| Ирмэгийн чипс / догол / хугарал / зургаан өнцөгт хавтан | Байхгүй | ||
| Политип талбайнууд | Байхгүй | Хуримтлагдсан талбай≤20% | Хуримтлагдсан талбай≤30% |
| Урд талын лазер тэмдэглэгээ | Байхгүй | ||
| Буцах чанар | |||
| Арын төгсгөл | C-нүүртэй CMP | ||
| Зураас | ≤5ea/мм,Хуримт урт≤2*Диаметр | NA | |
| Арын гажиг (захын чипс/догол) | Байхгүй | ||
| Нурууны барзгар байдал | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| Буцах лазер тэмдэглэгээ | 1 мм (дээд ирмэгээс) | ||
| Ирмэг | |||
| Ирмэг | Хагархай | ||
| Сав баглаа боодол | |||
| Сав баглаа боодол | Вакуум савлагаатай эпи-бэлэн Олон талт цаасны сав баглаа боодол | ||
| *Тэмдэглэл: "NA" гэдэг нь хүсэлт байхгүй гэсэн үг Дудаагүй зүйл нь ХАГАС БЗДХ-тай холбоотой байж болно. | |||
