Semicera танилцуулж байнаВафель кассет зөөгч, Хагас дамжуулагч ялтсуудыг найдвартай, үр ашигтайгаар зохицуулах чухал шийдэл. Энэхүү зөөвөрлөгч нь хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэлийн хатуу шаардлагад нийцүүлэн бүтээгдсэн бөгөөд үйлдвэрлэлийн процессын туршид таны өргүүрийн хамгаалалт, бүрэн бүтэн байдлыг баталгаажуулдаг.
Гол онцлогууд:
•Бат бөх барилга:TheВафель кассет зөөгчХагас дамжуулагч орчны хатуу ширүүнийг тэсвэрлэх өндөр чанартай, бат бөх материалаар хийгдсэн бөгөөд бохирдол, физик гэмтлээс найдвартай хамгаална.
•Нарийвчилсан тохируулга:Өргөст хавтанг нарийн тэгшлэх зориулалттай энэхүү зөөвөрлөгч нь хавтанцарыг найдвартай байрлуулж, тээвэрлэлтийн явцад эвдрэх, эвдрэх эрсдэлийг багасгадаг.
•Хялбар харьцах:Ашиглахад хялбар байхаар эргономикоор бүтээгдсэн тээвэрлэгч нь ачих, буулгах үйл явцыг хөнгөвчлөх, цэвэр өрөөнд ажлын урсгалын үр ашгийг дээшлүүлдэг.
•Тохиромжтой байдал:Өргөн хүрээний хэмжээ, төрөл бүрийн ялтсуудтай нийцдэг тул хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлийн төрөл бүрийн хэрэгцээнд зориулж уян хатан болгодог.
Semicera-ийн тусламжтайгаар хосгүй хамгаалалт, тав тухтай байдлыг мэдрээрэйВафель кассет зөөгч. Манай зөөвөрлөгч нь хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэлийн хамгийн өндөр стандартад нийцсэн байхаар бүтээгдсэн бөгөөд энэ нь таны өргүүрийг эхнээс нь дуустал онгон хэвээр байлгах боломжийг олгодог. Таны хамгийн чухал процессуудад шаардлагатай чанар, найдвартай байдлыг хангахын тулд Semicera-д итгээрэй.
| Эд зүйлс | Үйлдвэрлэл | Судалгаа | Дамми |
| Кристал параметрүүд | |||
| Политип | 4H | ||
| Гадаргуугийн чиглэлийн алдаа | <11-20 >4±0.15° | ||
| Цахилгааны параметрүүд | |||
| Допант | n төрлийн азот | ||
| Эсэргүүцэл | 0.015-0.025 ом·см | ||
| Механик параметрүүд | |||
| Диаметр | 150.0±0.2мм | ||
| Зузаан | 350±25 мкм | ||
| Үндсэн хавтгай чиг баримжаа | [1-100]±5° | ||
| Үндсэн хавтгай урт | 47.5±1.5мм | ||
| Хоёрдогч байр | Байхгүй | ||
| TTV | ≤5 мкм | ≤10 мкм | ≤15 мкм |
| LTV | ≤3 мкм(5мм*5мм) | ≤5 мкм(5мм*5мм) | ≤10 мкм(5мм*5мм) |
| Нум | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| Муухай | ≤35 мкм | ≤45 мкм | ≤55 мкм |
| Урд талын барзгар байдал (AFM) | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| Бүтэц | |||
| Микро хоолойн нягтрал | <1 э/см2 | <10 эа/см2 | <15 эа/см2 |
| Металлын хольц | ≤5E10атом/см2 | NA | |
| BPD | ≤1500 ea/см2 | ≤3000 ea/см2 | NA |
| TSD | ≤500 ea/cm2 | ≤1000 ea/cm2 | NA |
| Урд чанар | |||
| Урд | Si | ||
| Гадаргуугийн өнгөлгөө | Si-face CMP | ||
| Бөөмүүд | ≤60ea/waf (хэмжээ≥0.3μm) | NA | |
| Зураас | ≤5ea/мм. Хуримтлагдсан урт ≤Диаметр | Хуримтлагдсан урт≤2*Диаметр | NA |
| Жүржийн хальс/цорхой/толбо/суралт/ хагарал/бохирдол | Байхгүй | NA | |
| Ирмэгийн чипс / догол / хугарал / зургаан өнцөгт хавтан | Байхгүй | ||
| Политип талбайнууд | Байхгүй | Хуримтлагдсан талбай≤20% | Хуримтлагдсан талбай≤30% |
| Урд талын лазер тэмдэглэгээ | Байхгүй | ||
| Буцах чанар | |||
| Арын төгсгөл | C-нүүртэй CMP | ||
| Зураас | ≤5ea/мм,Хуримт урт≤2*Диаметр | NA | |
| Арын гажиг (захын чипс/догол) | Байхгүй | ||
| Нурууны барзгар байдал | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| Буцах лазер тэмдэглэгээ | 1 мм (дээд ирмэгээс) | ||
| Ирмэг | |||
| Ирмэг | Хагархай | ||
| Сав баглаа боодол | |||
| Сав баглаа боодол | Вакуум савлагаатай эпи-бэлэн Олон талт цаасны сав баглаа боодол | ||
| *Тэмдэглэл: "NA" гэдэг нь хүсэлт байхгүй гэсэн үг Дудаагүй зүйл нь ХАГАС БЗДХ-тай холбоотой байж болно. | |||
