Өрөөнд зориулсан гарнь хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэлийн процесст ашиглах, шилжүүлэх, байрлуулах гол төхөөрөмж юмжигнэмэг. Энэ нь ихэвчлэн робот гар, атгагч, хяналтын системээс бүрдэх бөгөөд нарийн хөдөлгөөн, байрлал тогтоох чадвартай.Өрөөнд зориулсан гархагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэлийн төрөл бүрийн холбоосууд, тухайлбал өрөмийг ачих, цэвэрлэх, нимгэн хальсан дээр буулгах, сийлбэрлэх, литографи хийх, шалгах зэрэг үйл явцын үе шатуудад өргөн хэрэглэгддэг. Түүний нарийвчлал, найдвартай байдал, автоматжуулалтын чадвар нь үйлдвэрлэлийн үйл явцын чанар, үр ашиг, тууштай байдлыг хангахад зайлшгүй шаардлагатай.
Өргөст цаасны гарны үндсэн үүрэг нь:
1. Өргөст ялтас шилжүүлэх: Өргөст ялтасыг зөөвөрлөх гар нь өргүүрийг хадгалах тавиураас авч, боловсруулах төхөөрөмжид байрлуулах гэх мэтийг нэг газраас нөгөөд зөв шилжүүлэх чадвартай.
2. Байршил ба чиг баримжаа: Өргөст цаасны харьцах гар нь дараагийн боловсруулалт эсвэл хэмжилтийн үйлдлүүдийн зөв байрлал, байрлалыг баталгаажуулахын тулд өрөмийг зөв байрлуулж, чиглүүлэх чадвартай.
3. Хавчих ба суллах: Өргөст цаасыг аюулгүйгээр зөөвөрлөх, зөөвөрлөхийг хангах үүднээс өрөмийг аюулгүй хавчих, шаардлагатай үед суллах боломжтой хавчаараар тоноглогдсон байдаг.
4. Автомат удирдлага: Өргөст цаасны гар нь урьдчилан тодорхойлсон үйлдлийн дарааллыг автоматаар гүйцэтгэж, үйлдвэрлэлийн үр ашгийг дээшлүүлж, хүний алдааг багасгах чадвартай дэвшилтэт хяналтын системээр тоноглогдсон.
Онцлог шинж чанар, давуу тал
1. Нарийвчилсан хэмжээс ба дулааны тогтвортой байдал.
2.Өндөр өвөрмөц хөшүүн чанар, маш сайн дулааны жигд байдал, урт хугацааны хэрэглээ нь хэв гажилтыг нугалахад хялбар биш юм.
3. Энэ нь гөлгөр гадаргуутай, элэгдэлд тэсвэртэй тул чипийг тоосонцор бохирдуулахгүйгээр найдвартай харьцдаг.
4.Цахиурын карбидын эсэргүүцэл 106-108Ω, соронзон бус, ТХБ-ын эсрэг техникийн шаардлагын дагуу; Энэ нь чипний гадаргуу дээр статик цахилгаан хуримтлагдахаас сэргийлж чадна.
5. Сайн дулаан дамжуулалт, бага тэлэлтийн коэффициент.
