Тодорхойлолт
Graphite Susceptor withЦахиурын карбидын бүрээс, 6 ширхэг6 инчийн вафель зөөгчfrom semicera нь өндөр гүйцэтгэлтэй эпитаксиаль өсөлтийн хэрэглээнд онцгой бат бөх, дулаан дамжуулалтыг санал болгодог. Semicera нь процессыг сайжруулахад зориулагдсан дэвшилтэт мэдрэгч төхөөрөмжөөр мэргэшсэнЭпитаксиболонSiC эпитакси, шаардлагатай хагас дамжуулагч орчинд найдвартай гүйцэтгэлийг хангах.
Энэхүү мэдрэгчийг тусгайлан ашиглахаар бүтээжээMOCVD мэдрэгчсистемүүд бөгөөд PSS Etching Carrier, ICP Etching Carrier, RTP Carrier зэрэг янз бүрийн тээвэрлэгчтэй нийцтэй байхыг санал болгодог. Энэ нь нэг талст цахиурын үйлдвэрлэл болон LED эпитаксиаль сусцепторын тохиргоонд тохиромжтой бөгөөд баррель сусцептор, хуушуурын мэдрэгч зэрэг янз бүрийн тохиргоонд олон талт байдлыг санал болгодог.
Цахиурын карбидын бүрээстэй графит шингээгч нь фотоволтайк эд ангиудыг нэгтгэх замаар нарны эрчим хүчний салбарт хэрэглэгдэхүүнийг дэмждэг бөгөөд SiC Epitaxy процесс дээр GaN-ийн үзүүлэлтээр өндөр байдаг. Түүний 6 инчийн вафель зөөгч хүчин чадал нь өндөр дамжуулах чадварыг хангадаг бөгөөд энэ нь хагас дамжуулагч болон фотоволтайк үйлдвэрлэлийн үйлдвэрлэгчдэд чухал хэрэгсэл болгодог.
Үндсэн шинж чанарууд
1 .Өндөр цэвэршилттэй SiC бүрсэн бал чулуу
2. Дээд зэргийн халуунд тэсвэртэй, дулааны жигд байдал
3. Сайн байнаSiC болор бүрсэнгөлгөр гадаргуугийн хувьд
4. Химийн цэвэрлэгээнд тэсвэртэй
CVD-SIC бүрхүүлийн үндсэн үзүүлэлтүүд:
| SiC-CVD | ||
| Нягт | (г/cc) | 3.21 |
| Гулзайлтын хүч | (Мпа) | 470 |
| Дулааны тэлэлт | (10-6/К) | 4 |
| Дулаан дамжилтын илтгэлцүүр | (Вт/мК) | 300 |
Сав баглаа боодол, тээвэрлэлт
Нийлүүлэлтийн чадвар:
Сард 10000 ширхэг
Сав баглаа боодол, хүргэлт:
Сав баглаа боодол: Стандарт ба хүчтэй савлагаа
Полиэт уут + Хайрцаг + Картон + Палет
Порт:
Нинбо/Шэньжэн/Шанхай
Хүргэлтийн хугацаа:
| Тоо хэмжээ(ширхэг) | 1-1000 | >1000 |
| Тооцоолол. Цаг (өдөр) | 30 | Хэлэлцэх ёстой |
