MOCVD Susceptor гэж юу вэ?

TheMOCVDЭнэ арга нь нэг фазын InGaN хучилт, III-N материал, олон квантын худгийн бүтэцтэй хагас дамжуулагч хальс зэрэг өндөр чанарын нэг талст нимгэн хальсыг ургуулахад одоогийн байдлаар үйлдвэрлэлд ашиглагдаж байгаа хамгийн тогтвортой процессуудын нэг юм. хагас дамжуулагч ба оптоэлектроник төхөөрөмж үйлдвэрлэл.

TheSiC бүрэх MOCVD мэдрэгчнь цахиурын карбид (SiC) -ээр бүрсэн тусгай өргүүр эзэмшигч юмэпитаксиаль металлын органик химийн уурын хуримтлал (MOCVD) процессын өсөлт.

SiC бүрэх нь маш сайн химийн эсэргүүцэл ба дулааны тогтвортой байдлыг хангадаг тул эпитаксиаль өсөлтийн процесст ашиглагддаг MOCVD мэдрэгчийг сонгоход тохиромжтой.

MOCVD процессын гол бүрэлдэхүүн хэсэг нь үйлдвэрлэсэн нимгэн хальсны жигд байдал, чанарыг хангах гол элемент болох мэдрэгч юм.

Соцептор гэж юу вэ? Соцептор нь нимгэн хальсыг байрлуулсан субстратыг дэмжих, халаахад MOCVD процесст ашиглагддаг тусгай бүрэлдэхүүн хэсэг юм. Энэ нь цахилгаан соронзон энергийг шингээх, дулаан болгон хувиргах, дулааныг дэвсгэр дээр жигд хуваарилах зэрэг олон үүрэгтэй. Энэхүү жигд халаалт нь нарийн зузаан, найрлагатай жигд нимгэн хальс ургахад зайлшгүй шаардлагатай.

Мэдрэгчийн төрлүүд:
1. Графит мэдрэгч: Графит мэдрэгч нь ихэвчлэн хамгаалалтын давхаргаар бүрхэгдсэн байдагцахиурын карбид (SiC), энэ нь өндөр дулаан дамжуулалт, тогтвортой байдалаараа алдартай. TheSiC бүрэхөндөр температурт зэврэлт, доройтлыг эсэргүүцэх хатуу, хамгаалалтын гадаргууг хангана.

2. Цахиурын карбидын (SiC) мэдрэгч: Эдгээр мэдрэгч нь бүхэлдээ SiC-ээр хийгдсэн бөгөөд маш сайн дулааны тогтвортой байдал, элэгдэлд тэсвэртэй. SiC мэдрэгч нь ялангуяа өндөр температурт үйл явц болон идэмхий орчинд тохиромжтой.

MOCVD-д мэдрэгчүүд хэрхэн ажилладаг вэ:

MOCVD процесст прекурсоруудыг урвалын камерт оруулдаг бөгөөд тэдгээр нь задарч, субстрат дээр нимгэн хальс үүсгэдэг. Суссептор нь субстратыг жигд халаах замаар чухал үүрэг гүйцэтгэдэг бөгөөд энэ нь субстратын бүх гадаргуу дээр тогтвортой хальсны шинж чанарыг бий болгоход чухал үүрэг гүйцэтгэдэг. Температурын хүрээ, химийн нийцтэй байдал гэх мэт тунадасжилтын үйл явцын тодорхой шаардлагыг хангахын тулд мэдрэгчийн материал, дизайныг сайтар сонгосон.

Өндөр чанартай мэдрэгчийг ашиглахын давуу талууд:
• Сайжруулсан хальсны чанар: Дулааны жигд хуваарилалтыг хангаснаар мэдрэгч нь хагас дамжуулагч төхөөрөмжийн гүйцэтгэлд чухал ач холбогдолтой тууштай зузаан, найрлагатай хальсыг авахад тусалдаг.
• Процессын үр ашгийг сайжруулсан: Өндөр чанартай мэдрэгч нь согогийн магадлалыг бууруулж, ашиглах боломжтой хальсны гарцыг нэмэгдүүлэх замаар MOCVD процессын ерөнхий үр ашгийг нэмэгдүүлдэг.
• Амьдрах хугацаа, найдвартай байдал: SiC зэрэг бат бөх материалаар хийгдсэн мэдрэгч нь урт хугацааны найдвартай байдлыг хангаж, засвар үйлчилгээний зардлыг бууруулдаг.

Суцептор нь MOCVD процессын салшгүй бүрэлдэхүүн хэсэг бөгөөд нимгэн хальсан бүрхүүлийн чанар, үр ашигт шууд нөлөөлдөг. Боломжтой хэмжээ, MOCVD мэдрэгч болон үнийн талаар дэлгэрэнгүй мэдээлэл авахыг хүсвэл бидэнтэй холбоо барина уу. Манай инженерүүд танд тохирох материалын талаар зөвлөгөө өгч, бүх асуултанд хариулахдаа баяртай байх болно.

Утас: +86-13373889683
WhatsAPP: +86-15957878134
Email: sales01@semi-cera.com