Металл-органик химийн уурын хуримтлал (MOCVD) нь хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэлийн чухал үйл явц бөгөөд өндөр чанартай нимгэн хальсыг субстрат дээр байрлуулдаг. MOCVD үйл явцын гол бүрэлдэхүүн хэсэг нь үйлдвэрлэсэн киноны жигд байдал, чанарыг хангахад чухал үүрэг гүйцэтгэдэг амин чухал элемент болох мэдрэгч юм.
Сусептор гэж юу вэ? Сускцептор нь нимгэн хальс хуримтлагдсан субстратыг дэмжих, халаахад MOCVD процесст ашиглагддаг тусгай бүрэлдэхүүн хэсэг юм. Энэ нь цахилгаан соронзон энергийг шингээх, дулаан болгон хувиргах, дулааныг субстрат дээр жигд хуваарилах зэрэг олон үүргийг гүйцэтгэдэг. Энэхүү жигд халаалт нь нарийн зузаан, найрлагатай нэгэн төрлийн хальсыг ургуулахад зайлшгүй шаардлагатай.
Соцепторын төрлүүд:
1. Графит шингээгч: Ихэвчлэн хамгаалалтын давхаргаар бүрсэн байдагцахиурын карбид (SiC), бал чулуу мэдрэгч нь өндөр дулаан дамжуулалт, тогтвортой байдгаараа алдартай. TheSiC бүрэхөндөр температурт зэврэлт, доройтлыг эсэргүүцэх хатуу, хамгаалалтын гадаргууг хангана.
2. Цахиурын карбидын (SiC) шингээгч: Эдгээр нь бүхэлдээ SiC-ээр хийгдсэн бөгөөд маш сайн дулааны тогтвортой байдал, элэгдэлд тэсвэртэй.SiC мэдрэгчүүдялангуяа өндөр температурт үйл явц, идэмхий орчинд тохиромжтой.
ЯажСуцепторуудMOCVD-д ажиллах:
MOCVD процесст прекурсоруудыг реакторын камерт оруулдаг бөгөөд тэдгээр нь задарч, урвалд орж, субстрат дээр нимгэн хальс үүсгэдэг. Суссептор нь субстратыг жигд халаах замаар шийдвэрлэх үүрэг гүйцэтгэдэг бөгөөд энэ нь субстратын бүх гадаргуу дээр тогтвортой хальсны шинж чанарыг бий болгоход чухал үүрэг гүйцэтгэдэг. Температурын хүрээ, химийн нийцтэй байдал гэх мэт тунадасжилтын үйл явцын тусгай шаардлагад нийцүүлэхийн тулд мэдрэгчийн материал, дизайныг сайтар сонгосон.
Хэрэглэхийн ашиг тусӨндөр чанарын соруулагч:
• Сайжруулсан хальсны чанар: Дулааны жигд хуваарилалтыг хангаснаар мэдрэгч нь хагас дамжуулагч төхөөрөмжүүдийн гүйцэтгэлд чухал ач холбогдолтой тууштай зузаан, найрлагатай хальсанд хүрэхэд тусалдаг.
• Процессын үр ашгийг нэмэгдүүлсэн: Өндөр чанартай мэдрэгч нь согогийн магадлалыг бууруулж, ашиглах боломжтой хальсны гарцыг нэмэгдүүлэх замаар MOCVD процессын ерөнхий үр ашгийг сайжруулдаг.
• Урт удаан эдэлгээ ба найдвартай байдал: SiC зэрэг удаан эдэлгээтэй материалаар хийгдсэн мэдрэгч нь урт хугацааны найдвартай байдлыг хангаж, засвар үйлчилгээний зардлыг бууруулдаг.
Дүгнэлт: Соцептор нь MOCVD үйл явцын зайлшгүй бүрэлдэхүүн хэсэг бөгөөд нимгэн хальсан бүрхүүлийн чанар, үр ашигт шууд нөлөөлдөг. Хагас дамжуулагч үйлдвэрлэгчид мэдрэгчтэй материал, дизайныг зөв сонгосноор процессоо оновчтой болгож, төхөөрөмжийн гүйцэтгэлийг сайжруулж, үйлдвэрлэлийн зардлыг бууруулж чадна. Өндөр хүчин чадалтай электрон төхөөрөмжүүдийн эрэлт хэрэгцээ өссөөр байгаа тул өндөр чанарын MOCVD suc-ийн ач холбогдол
Шуудангийн цаг: 2024 оны 8-р сарын 12-ны хооронд