Хагас дамжуулагч SiC бүрсэн нэг талст цахиурын эпитаксиаль диск

Semicera-ийн хагас дамжуулагч SiC бүрсэн нэг талст цахиурын эпитаксиаль диск нь эпитаксиаль өсөлтийн дэвшилтэт процессуудад зориулагдсан хамгийн сүүлийн үеийн шийдэл юм. Semicera нь маш сайн дулаан дамжуулалт, бат бөх чанарыг хангадаг өндөр хүчин чадалтай диск үйлдвэрлэх чиглэлээр мэргэшсэн бөгөөд энэ нь хэрэглээний програмуудад тохиромжтой.ЭпитаксиболонSiC эпитакси. Цахиурын карбид (SiC) -ээр бүрсэн энэхүү эпитаксиаль диск нь хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэлийн үйл явцын үр ашиг, нарийвчлалыг нэмэгдүүлдэг.

МанайMOCVD мэдрэгчТохиромжтой эпитаксиаль диск нь PSS Etching Carrier шаарддаг систем зэрэг янз бүрийн тохиргоонд тогтвортой гүйцэтгэлийг баталгаажуулдаг.ICP сийлбэрОператор, RTP тээвэрлэгч. Энэхүү диск нь монокристалл цахиурын үйлдвэрлэлийн өндөр эрэлт хэрэгцээг хангахаар бүтээгдсэн бөгөөд энэ нь LED эпитаксиал мэдрэгчийн хэрэглээ болон бусад хагас дамжуулагч өсөлтийн процесст тохиромжтой. Barrel Susceptor болон Pancake Susceptor загварууд нь үйлдвэрлэгчдэд олон талт байдлыг санал болгодог бол фотоволтайк эд ангиудыг ашиглах нь нарны эрчим хүчний салбарт өргөн хэрэглэгддэг.

Энэхүү дискний GaN on SiC Epitaxy-ийн чадавхи нь бат бөх бүтэцтэй тул дэвшилтэт эпитаксиаль системүүдийн үнэ цэнийг улам сайжруулдаг. Энэхүү шийдэл нь найдвартай, өндөр чанартай үр дүнг өгөх зорилготой бөгөөд орчин үеийн хагас дамжуулагч болон фотоволтайкийн үйлдвэрлэлийн чухал бүрэлдэхүүн хэсэг болсон.