Цахиурын карбидын субстрат|SiC өрлөг

Цахиурын карбидын субстрат|SiC Wafers онцлох зураг

Богино тайлбар:

Semicera Energy Technology Co., Ltd нь вафель болон дэвшилтэт хагас дамжуулагч хэрэглээний материалын чиглэлээр мэргэшсэн тэргүүлэгч нийлүүлэгч юм. Бид хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэл, фотоволтайкийн үйлдвэрлэл болон бусад холбогдох салбарт өндөр чанартай, найдвартай, шинэлэг бүтээгдэхүүнээр хангах зорилготой.

Манай бүтээгдэхүүний шугамд цахиурын карбид, цахиурын нитрид, хөнгөн цагаан исэл гэх мэт төрөл бүрийн материалыг багтаасан SiC/TaC бүрсэн бал чулуун бүтээгдэхүүн, керамик бүтээгдэхүүн орно.

Одоогийн байдлаар бид 99.9999% SiC бүрэх, 99.9% дахин талстжуулсан цахиурын карбидыг цэвэршүүлсэн цорын ганц үйлдвэрлэгч юм. Бид хамгийн их SiC бүрэх урт нь 2640мм хийж болно.

Бидэн рүү имэйл илгээнэ үү

Бүтээгдэхүүний дэлгэрэнгүй

Бүтээгдэхүүний шошго

Цахиурын карбид (SiC) дан болор материал нь зурвасын өргөнтэй (~Si 3 дахин), өндөр дулаан дамжуулалттай (~Si 3.3 дахин эсвэл GaAs 10 дахин), электроноор ханалтын шилжилтийн хурд (~Si 2.5 дахин), өндөр задралын цахилгаан талбар (~Si 10 удаа эсвэл GaAs 5 удаа) болон бусад гайхалтай шинж чанарууд.

SiC төхөөрөмжүүд нь өндөр температур, өндөр даралт, өндөр давтамж, өндөр хүчин чадалтай электрон төхөөрөмж, сансар, цэрэг, цөмийн эрчим хүч гэх мэт байгаль орчны эрс тэс хэрэглээнд орлуулшгүй давуу талтай бөгөөд практикт уламжлалт хагас дамжуулагч материалын согогийг нөхдөг. хэрэглээ, аажмаар эрчим хүчний хагас дамжуулагчийн гол урсгал болж байна.

4H-SiC Цахиурын карбидын субстратын үзүүлэлтүүд

Зүйл	Үзүүлэлтүүд 参数
Политип 晶型	4H -SiC	6H- SiC
Диаметр 晶圆直径	2 инч \| 3 инч \| 4 инч \| 6 инч	2 инч \| 3 инч \| 4 инч \| 6 инч
Зузаан 厚度	330 мкм ~ 350 мкм	330 мкм ~ 350 мкм
Дамжуулах чадвар 导电类型	N – төрөл / Хагас тусгаарлагч N型导电片/ 半绝缘片	N – төрөл / Хагас тусгаарлагч N型导电片/ 半绝缘片
Допант 掺杂剂	N2 (азот) V (ванади)	N2 (Азот) V (Ванади)
Баримтлал 晶向	Тэнхлэг дээр <0001> Унтраах тэнхлэг <0001> унтрах 4°	Тэнхлэг дээр <0001> Унтраах тэнхлэг <0001> унтрах 4°
Эсэргүүцэл 电阻率	0.015 ~ 0.03 ом-см (4H-N)	0.02 ~ 0.1 ом-см (6H-N)
Микро хоолойн нягтрал (MPD) 微管密度	≤10/см2 ~ ≤1/см2	≤10/см2 ~ ≤1/см2
TTV 总厚度变化	≤ 15 мкм	≤ 15 мкм
Нум / нум 翘曲度	≤25 мкм	≤25 мкм
Гадаргуу 表面处理	DSP/SSP	DSP/SSP
Зэрэг 产品等级	Үйлдвэрлэл / Судалгааны зэрэг	Үйлдвэрлэл / Судалгааны зэрэг
Кристал овоолох дараалал 堆积方式	ABCB	ABCABC
Торны параметр 晶格参数	a=3.076A , c=10.053A	a=3.073A , c=15.117A
Жишээ нь/eV(Хамгийн зай) 禁带宽度	3.27 эВ	3.02 эВ
ε(диэлектрик тогтмол) 介电常数	9.6	9.66
Хугарлын индекс 折射率	n0 =2.719 ne =2.777	n0 =2.707 , үгүй =2.755

6H-SiC Silicon Carbide субстратын техникийн үзүүлэлтүүд

Зүйл	Үзүүлэлтүүд 参数
Политип 晶型	6H-SiC
Диаметр 晶圆直径	4 инч \| 6 инч
Зузаан 厚度	350μm ~ 450μm
Дамжуулах чадвар 导电类型	N – төрөл / Хагас тусгаарлагч N型导电片/ 半绝缘片
Допант 掺杂剂	N2 (азот) V (ванадий)
Баримтлал 晶向	<0001> унтрах 4°± 0.5°
Эсэргүүцэл 电阻率	0.02 ~ 0.1 ом-см (6H-N төрөл)
Микро хоолойн нягтрал (MPD) 微管密度	≤ 10/см2
TTV 总厚度变化	≤ 15 мкм
Нум / нум 翘曲度	≤25 мкм
Гадаргуу 表面处理	Si Face: CMP, Epi-Ready C Нүүр: Оптик өнгөлөгч
Зэрэг 产品等级	Судалгааны зэрэг