TaC бүрсэн хавтан нь өндөр чанарын бал чулуу материалаар нарийн урласан, SiC эпитаксиаль процесст ашиглах зориулалттай тусгай диск юм. Гадаргууг нь тантал карбид (TaC) нямбай бүрсэн бөгөөд энэ нь онцгой цэвэр, бат бөх чанараараа алдартай нэгдэл юм. TaC бүрэх нь хавтангийн бат бөх чанар, өндөр температурт тэсвэртэй байдлыг сайжруулж, SiC эпитаксиаль процессын хүнд нөхцөлд хамгийн тохиромжтой болгодог.
Энэхүү шинэлэг TaC бүрсэн хавтан нь өндөр чанарын бал чулуу материалаар нарийн урласан, SiC эпитаксиаль процесст ашиглах зориулалттай тусгай диск юм. TaC бүрсэн хавтангийн гадаргууг тантал карбид (TaC) -аар сайтар бүрсэн бөгөөд энэ нь онцгой цэвэр, бат бөх чанараараа алдартай. нь SiC эпитаксиаль өсөлтийн янз бүрийн үе шатанд ялтсуудыг зөөвөрлөх найдвартай платформ болж өгдөг. Өндөр цэвэршилттэй бал чулуун суурь нь тогтвортой, идэвхгүй гадаргууг өгдөг бол TaC бүрээс нь химийн урвал, элэгдэлд орохоос хамгаалах нэмэлт давхаргыг нэмж өгдөг.
Хагасэрин үеTaC бүрсэн хавтан нь үйлчлүүлэгчдийн тусгай шаардлагын дагуу тохируулагдсан бөгөөд тэдгээрийн SiC эпитаксиаль системтэй оновчтой гүйцэтгэл, нийцтэй байдлыг хангадаг. Хэмжээ, хэлбэр эсвэл бусад үзүүлэлтээс үл хамааран эдгээр хавтангууд нь хэрэглээ бүрийн өвөрмөц хэрэгцээг хангахад зориулагдсан болно.
TaC-тай ба үгүй
TaC хэрэглэсний дараа (баруун)
Үүнээс гадна, Semicera-ийнTaC бүрсэн бүтээгдэхүүн-тай харьцуулахад илүү урт ашиглалтын хугацаа, өндөр температурт тэсвэртэй байдлыг харуулдагSiC бүрээс.Лабораторийн хэмжилтээр манайTaC бүрээсЦельсийн 2300 хэм хүртэлх температурт удаан хугацаанд тогтвортой ажиллах боломжтой. Манай дээжийн зарим жишээг доор харуулав.
