Float Zone Wafer нь хөвөгч Zone хайлуулах аргаар (Float Zone meting method) ургуулдаг бөгөөд мөн бүс хайлах өргүүр гэж нэрлэгддэг FZ өрмөнцөр нь өндөр цэвэршилттэй цахиурын хавтан бөгөөд CZ нэг талст цахиурын шууд татсан процессыг сольж чаддаг.CZ аргаар үйлдвэрлэсэн өрөмтэй харьцуулахад бүсчилсэн өргүүр нь тигельгүй, үйлдвэрлэлийн ачаалал бага, хайлах цэгийн хязгаарлалтгүй зэрэг олон давуу талтай тул нарны модуль, RF төхөөрөмж, нарийн эрчим хүчний төхөөрөмж зэрэг хэрэглээнд тохиромжтой.FZ хавтан дахь хүчилтөрөгч, нүүрстөрөгчийн хольцын агууламж бага, механик бат бөх чанарыг сайжруулахын тулд азотыг тусгайлан нэмдэг.
Зүйл | Аргумент | Лавлагааны жишээ |
Тоо хэмжээ: |
| 100 ширхэг |
Өсөлтийн арга: | Хөвөгч бүс | FZ |
Диаметр: | 50/75/100/150/200/300мм | 100мм |
Төрөл/Допант: | P-Type / N-Type / Intrinsic | N-төрөл |
Баримтлал: | <1-0-0>/<1-1-0>/<1-1-1>或其它 | <100> |
Эсэргүүцэл: | 100~30,000 ом-см | 3000 ом-см |
Зузаан: | 275 um ~ 775 um | 500ум |
Дуусгах: | SSP/DSP | DSP |
Орон сууц: | Ховил/Хоёр ХАГАС стандарт орон сууц | Ховилын |
НУМ/БОРОО: | <10 микрон | <40ум |
TTV: | <5 микрон | <20ум |
Анги: | Ерөнхий / Туршилт / Дамми | Ерөнхий |