Цахиур ялтсын дулааны ислийн давхарга нь исэлдүүлэгч бодис бүхий өндөр температурын нөхцөлд цахиур хавтанцарын нүцгэн гадаргуу дээр үүссэн ислийн давхарга буюу цахиурын давхарга юм.Цахиур ялтсын дулааны ислийн давхарга нь ихэвчлэн хэвтээ хоолойн зууханд ургадаг бөгөөд өсөлтийн температурын хүрээ нь ерөнхийдөө 900 ° C ~ 1200 ° C байдаг бөгөөд "нойтон исэлдэлт" ба "хуурай исэлдэлтийн" хоёр өсөлтийн горим байдаг.Дулааны ислийн давхарга нь "ургасан" ислийн давхарга бөгөөд CVD-ийн хуримтлагдсан ислийн давхаргаас илүү нэгэн төрлийн, илүү өндөр диэлектрик бат бэхтэй байдаг.Дулааны ислийн давхарга нь тусгаарлагчийн хувьд маш сайн диэлектрик давхарга юм.Цахиурт суурилсан олон төхөөрөмжид дулааны ислийн давхарга нь допинг блоклох давхарга болон гадаргуугийн диэлектрикийн үүрэг гүйцэтгэдэг.
Зөвлөмж: Исэлдэлтийн төрөл
1. Хуурай исэлдэлт
Цахиур нь хүчилтөрөгчтэй урвалд орж, оксидын давхарга нь суурь давхарга руу шилждэг.Хуурай исэлдэлтийг 850-аас 1200 ° C-ийн температурт хийх шаардлагатай бөгөөд өсөлтийн хурд нь бага бөгөөд үүнийг MOS тусгаарлагчийн хаалганы өсөлтөд ашиглаж болно.Өндөр чанартай, хэт нимгэн цахиурын ислийн давхарга шаардлагатай бол нойтон исэлдэлтээс хуурай исэлдэлтийг илүүд үздэг.
Хуурай исэлдэлтийн хүчин чадал: 15нм~300нм(150А ~ 3000А)
2. Нойтон исэлдэлт
Энэ арга нь устөрөгч болон өндөр цэвэршилттэй хүчилтөрөгчийн холимогийг ~1000 ° C-т шатаахын тулд усны уурыг гаргаж исэлдүүлэгч давхарга үүсгэдэг.Нойтон исэлдэлт нь хуурай исэлдэлт шиг өндөр чанартай исэлдэлтийн давхарга үүсгэж чадахгүй ч тусгаарлах бүс болгон ашиглахад хангалттай боловч хуурай исэлдэлттэй харьцуулахад өсөлтийн хурд өндөр байдаг нь тодорхой давуу талтай юм.
Нойтон исэлдэлтийн хүчин чадал: 50нм~ 15мкм (500А ~15мкм)
3. Хуурай арга - нойтон арга - хуурай арга
Энэ аргын хувьд эхний шатанд цэвэр хуурай хүчилтөрөгчийг исэлдүүлэх зууханд гаргаж, исэлдэлтийн дундуур устөрөгчийг нэмж, эцэст нь устөрөгчийг хадгалахдаа цэвэр хуурай хүчилтөрөгчөөр исэлдэлтийг үргэлжлүүлэхийн тулд исэлдэлтийн исэлдэлтийн бүтэцтэй харьцуулахад илүү нягт исэлдэлтийн бүтцийг бий болгодог. усны уур хэлбэрийн нийтлэг нойтон исэлдэлтийн процесс.
4. TEOS исэлдэлт
| Исэлдэлтийн техник | Нойтон исэлдэлт эсвэл Хуурай исэлдэлт |
| Диаметр | 2″ / 3″ / 4″ / 6″ / 8″ / 12″ |
| Оксидын зузаан | 100 Å ~ 15µm |
| Хүлцэл | +/- 5% |
| Гадаргуу | Нэг талын исэлдэлт (SSO) / Давхар талт исэлдэлт (DSO) |
| Зуух | Хэвтээ хоолойн зуух |
| Хий | Устөрөгч ба хүчилтөрөгчийн хий |
| Температур | 900℃ ~ 1200 ℃ |
| Хугарлын индекс | 1.456 |
