Тодорхойлолт
Цахиурын карбидын эпитаксиалSemicera-ийн VEECO тоног төхөөрөмжид зориулсан вафель диск нь эпитаксиаль дэвшилтэт процессуудад зориулагдсан бөгөөд хоёуланд нь өндөр чанартай үр дүнг баталгаажуулдаг.ЭпитаксиболонSiC эпитаксипрограмууд. Эдгээр хавтанцар дискүүд нь VEECO төхөөрөмжид тусгайлан зориулагдсан бөгөөд янз бүрийн хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлийн үйл явцын гүйцэтгэл, үр ашгийг дээшлүүлдэг. Semicera-ийн туршлага нь чухал хэрэглээнд онцгой бат бөх, нарийвчлалыг баталгаажуулдаг.
Эдгээр эпитаксиаль хавтанцар дискийг ашиглахад тохиромжтойMOCVD мэдрэгчзэрэг чухал бүрэлдэхүүн хэсгүүдэд найдвартай дэмжлэг үзүүлэх системүүдPSS Etching Carrier, ICP сийлбэр зөөгч, баRTP тээвэрлэгч. Нэмж дурдахад тэдгээр нь сайжруулсан нийцтэй байдлыг санал болгодогLED эпитаксиал мэдрэгч, Торхны шингээгч, монокристалл цахиурын процессууд нь таны үйлдвэрлэлийн шугамууд үр ашиг, нарийвчлалын хамгийн өндөр стандартыг хангадаг.
Хамгийн сүүлийн үеийн технологид зориулан бүтээгдсэн эдгээр ялтсууд нь фотоволтайк эд анги үйлдвэрлэхэд ихээхэн хувь нэмэр оруулж, SiC Epitaxy дээрх GaN гэх мэт нарийн төвөгтэй процессуудыг хөнгөвчилдөг. Хуушуурын шимэгчийн тохируулга эсвэл бусад эрэлт хэрэгцээтэй хэрэглээнд ашигласан ч semicera-ийн Цахиурын карбидын эпитаксиаль өрлөгийн диск нь хагас дамжуулагчийн дэвшилтэт үйлдвэрлэлд найдвартай суурь болж, оновчтой гүйцэтгэл, урт хугацааны бат бөх чанарыг баталгаажуулдаг.
Үндсэн шинж чанарууд
1 .Өндөр цэвэршилттэй SiC бүрсэн бал чулуу
2. Дээд зэргийн халуунд тэсвэртэй, дулааны жигд байдал
3. Сайн байнаSiC болор бүрсэнгөлгөр гадаргуугийн хувьд
4. Химийн цэвэрлэгээнд тэсвэртэй
CVD-SIC бүрхүүлийн үндсэн үзүүлэлтүүд:
| SiC-CVD | ||
| Нягт | (г/cc) | 3.21 |
| Гулзайлтын хүч | (Мпа) | 470 |
| Дулааны тэлэлт | (10-6/К) | 4 |
| Дулаан дамжилтын илтгэлцүүр | (Вт/мК) | 300 |
Сав баглаа боодол, тээвэрлэлт
Нийлүүлэлтийн чадвар:
Сард 10000 ширхэг
Сав баглаа боодол, хүргэлт:
Сав баглаа боодол: Стандарт ба хүчтэй савлагаа
Полиэт уут + Хайрцаг + Картон + Палет
Порт:
Нинбо/Шэньжэн/Шанхай
Хүргэлтийн хугацаа:
| Тоо хэмжээ(ширхэг) | 1-1000 | >1000 |
| Тооцоолол. Цаг (өдөр) | 30 | Хэлэлцэх ёстой |
